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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 239 4.5.7 转换晶圆支撑 为了能通过 SIPLAC E SWS 晶圆拉伸器使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"） ，您需要转换 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器。 您可以按照以下方式订购 SI P…

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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.5.6.2 设置
图 4.5 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度
将四个点 (1) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (2) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (3) 上的螺钉拧松并将其安装在所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (4) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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4.5.7 转换晶圆支撑
为了能通过 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"），您需要转换
SIPLACE SWS 晶圆拉伸器。
您可以按照以下方式订购 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器：
– 00519717-xx 12 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 4
– 03079734-xx 8 英寸改装套件
或
– 00519719-xx 8 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 4
– 00519720-xx 12 英寸改装套件
以下说明描述了从一个 8" 到 12" 晶圆支撑的转换过程 （另请参阅 表 12" 转换至 8 的差异，第
252 页）。
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.5.7.1 12" 晶圆扩充器改装套件中的部件
图 4.5 - 6 12" 晶圆支撑改装套件中的部件
(1) 传感器 1 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(2) 传感器 2 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(3) 挡块 （含夹具所用的紧固螺钉）
(4) 用于固定起吊活塞的辅助工具，[ 物件编号 03121551-xx] 已提供，并将在以后将其包含在
SWS 的服务箱中。
(5) 行程环
(6) 左右下按装置板
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