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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 241 4.5.7.2 准备 将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。 将晶圆台移动至转换位置。 在视图中，选择 手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置 。 打开夹具。 在视图中，选择 手动操…
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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4.5.7.1 12" 晶圆扩充器改装套件中的部件
图 4.5 - 6 12" 晶圆支撑改装套件中的部件
(1) 传感器 1 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(2) 传感器 2 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(3) 挡块 （含夹具所用的紧固螺钉）
(4) 用于固定起吊活塞的辅助工具，[ 物件编号 03121551-xx] 已提供，并将在以后将其包含在
SWS 的服务箱中。
(5) 行程环
(6) 左右下按装置板
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4.5.7.2 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
在视图中，选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
在视图中，选择生产 -> 其它并单击那里的红色 "off" （关闭）按钮。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 4
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在晶圆支撑上作业时，夹持器可能会被损坏。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离晶圆支撑的作业区。
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4.5.7.3 取下 8" 晶圆支撑
取下下按装置板 4
您需要更换相关晶圆支撑的下按装置板。
图 4.5 - 7 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将用于固定起吊活塞 (2) 的辅助工具插入开口中并从内部固定活塞。
将两个下按装置板 (5) 上的全部 4 个螺钉 (1) 逐个拧松。
将圆锥形固定盘 (3) 取下。为了随后的安装，您应确保这些部件的安全。
取下两个下按装置板 (4)。
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