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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 244 取下行程环 4 您需要更换相关晶圆支撑的行程环 。 图 4.5 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环 将固定行程环的 4 个螺钉 (1 ) 拧松。 将固定盘 (2) 与弹簧 ( 3) 取下。请确保用于随后重新安装的…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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将夹具松开 4
图 4.5 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开
取下夹具 (1) 上轴 (2) 的弹性挡圈。
松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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取下行程环 4
您需要更换相关晶圆支撑的行程环。
图 4.5 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环
将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。
将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。
将两个传感器 (4) 从线缆延长 (6) 的连接器 (5) 中拔出。
取下行程环。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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拆除 8" 行程环的传感器 4
两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。需将这些传感器拆下，以用于随后 8" 行程环的重新
安装。就 12" 晶圆支撑而言，这两个传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。
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图 4.5 - 10 晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环
将安装在传感器上方的热保护板拆下。
将两个传感器 (1) 从行程环的装配支架上拆下。
取下两个传感器并将其安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架上。
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