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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 246 将传感器安装在 12" 的装配支 架上 4 4 图 4.5 - 11 晶圆支撑 - 传感 器 1 (1) 装配支架 (2) 安装在装配支架 上的传感器 4 图 4.5 - 12 晶圆支撑 - 传感 器 2 (…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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拆除 8" 行程环的传感器 4
两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。需将这些传感器拆下，以用于随后 8" 行程环的重新
安装。就 12" 晶圆支撑而言，这两个传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。
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图 4.5 - 10 晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环
将安装在传感器上方的热保护板拆下。
将两个传感器 (1) 从行程环的装配支架上拆下。
取下两个传感器并将其安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架上。
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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将传感器安装在 12" 的装配支架上 4
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图 4.5 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
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图 4.5 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
将两个传感器 (2) 安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架 (1) 上。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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将传感器安装在 12" 晶圆支撑上 4
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 4.5 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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