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4 SIPL ACE 晶圆 系统 (SW S) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更 新 2014 年 12 月版 简体中文 248 将挡块安装在夹具上 4 4 图 4.5 - 14 晶圆支撑 - 将挡 块安装在夹具上 将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。 1 2
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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将传感器安装在 12" 晶圆支撑上 4
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 4.5 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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将挡块安装在夹具上 4
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图 4.5 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑） 4
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 4.5 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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