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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 249 安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑） 4 使用 4 颗螺钉 将盖板安装到晶圆支撑上。 4 图 4.5 - 15 晶圆支撑 - 安装盖 板 1
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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将挡块安装在夹具上 4
4
图 4.5 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑） 4
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 4.5 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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安装行程环 4
4
图 4.5 - 16 晶圆支撑 - 安装行程环
插入行程环 (1)。
将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。
将四个固定盘 (2) 安装就位。
使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。
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3
1