00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH - 第251页
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 251 安装下按装置板 4 图 4.5 - 17 晶圆支撑 - 取下下 按装置板 将起吊活塞与辅助工具 (2) 对 齐，这样开口就会朝向外口。 将从 12" 改装套件中 取出的下按装置板放置于晶圆支撑 中。 将…
4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
250
安装行程环 4
4
图 4.5 - 16 晶圆支撑 - 安装行程环
插入行程环 (1)。
将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。
将四个固定盘 (2) 安装就位。
使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。
2
3
3
1
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 4 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 4.5 SIPLACE SWS 晶圆延伸器
251
安装下按装置板 4
图 4.5 - 17 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将起吊活塞与辅助工具 (2) 对齐，这样开口就会朝向外口。
将从 12" 改装套件中取出的下按装置板放置于晶圆支撑中。
将圆锥形固定盘 (3) 插入到孔中。
使用螺钉将下按装置板拧上，但不要过紧。
将辅助工具 (4) 插入到开口中并用内部的起吊活塞固定就位。
将两个下按装置板 (5) 上的全部 4 个螺钉 (1) 拧紧。
1
1
1
1
1
1
1
1
2
3
4
4
4
