00197546-03_UM_SiplaceCA-Serie_ZH - 第352页
6 设备上的作业 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 6.4 SWS 任务 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 352 6.4.5 为推送系统设置顶针配置 在 SWS GUI 中切换到 手动操作 -> 晶圆处理 视图，然后 点 击 前往更改位置 按 钮。 晶圆台已被移除。 在 SWS GUI 中，切换到 手动操作 -> 晶粒处 理 视图，然后选择 推送单元选 项卡 。 …
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 6 设备上的作业
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 6.4 SWS 任务
351
6.4.4 将晶圆盘插入到晶圆盘升降机中
打开晶圆盘升降机的推拉门，然后将晶圆盘放到托板上。晶圆的对中卡槽必须对准设备。请
确保晶圆盘已正确锁定。
图 6.4 - 1 插入晶圆盘
6
请注意
在插入晶圆框时，晶圆框里的凹槽必须对着馈入方向。
6 设备上的作业 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
6.4 SWS 任务 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
352
6.4.5 为推送系统设置顶针配置
在 SWS GUI 中切换到手动操作 -> 晶圆处理视图，然后 点 击 前往更改位置按 钮。
晶圆台已被移除。
在 SWS GUI 中，切换到手动操作 -> 晶粒处理视图，然后选择推送单元选项卡 。
点击这个 按钮。
晶圆台已被移除，晶粒推送器被向上移动，可以被访问。
6
正确关闭贴片机和 SWS。
6
打开 SWS 上方的保护盖。
打开对中单元的卡口锁然后将顶针套件取出。
谨慎
损坏的危险！
当手动移动晶圆台时，被向上移动的推送系统可能与晶圆台发生碰撞而损坏。
不要手动推入晶圆台。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 6 设备上的作业
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 6.4 SWS 任务
353
6
图 6.4 - 2 带真空帽的顶针套件已被移除
图例
6
移除顶针套件 （1）的真空帽。
拧松平头螺丝 （2）。
为您的产品插入正确的顶针矩阵。
小心地将所有顶针插入到段位器中，并将这些顶针在同一条线上对齐。
松弛地拧入平头螺丝。这些顶针需要依然是可移动的。
使用相关校准标准执行以下调整。
(1) 真空帽 (2) 平头螺丝
1
2