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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2.3 SWS 上的警告标签 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 60 2.3.3 警告标签 W201 设备 SWS 的安全操作 2 2 图 2.3 - 3 SWS 上的 W201 [03009338-01] 设 备的安全操作 (每个 SWS 上的数量:1) 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 设备的安全操作 设…

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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 2.3 SWS 上的警告标签
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2.3.2 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器上的警告标签
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图 2.3 - 2 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
另请参阅第 231 页中第 4.5 节中的内容。
谨慎
高温导致烫伤的危险!
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
2.3 SWS 上的警告标签 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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2.3.3 警告标签 W201 设备 SWS 的安全操作
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图 2.3 - 3 SWS 上的 W201 [03009338-01] 设备的安全操作 (每个 SWS 上的数量:1)
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 2.3 SWS 上的警告标签
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2.3.4 线性浸渍单元 (LDU) 上的警告
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图 2.3 - 4 W201 [03009338-01] (每个 LDU 上的数量:1)
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图 2.3 - 5 W204 [03009343-01] (每个 LDU 上的数量:1)
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图 2.3 - 6 W18 (每个 LDU 上的数量:1)
图 2.3 - 7 LDU 上的警告标签