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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 1 2 月版 简体中文 2.7 操作 SWS 的安全须知 77 2.7.3 关闭保护盖时的安全须知 2 – 设备运行期间 SWS 的推拉门可以被打开以更换晶 圆盘 - SWS 将继续生 产。打开此门仅会停 用晶圆盘升降机。 – 如打开保护罩即 将 SWS 设定为紧急关闭状 态。 2.7.4 线性浸渍单元 （LDU）的安全须知 …
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
2.7 操作 SWS 的安全须知 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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2.7 操作 SWS 的安全须知
2.7.1 对晶圆台作业的安全须知
2
2.7.2 更换晶圆盘的安全须知
2
2
警告
有夹伤危险！
悬臂和晶圆台可能夹住并压伤肢体。
切勿
将肢体伸入到晶圆台方向晶圆盘升降机的缝隙中。
警告
晶圆盘较重！
一个装满的晶圆盘可以重达 25 kg。
拿放晶圆盘时请小心。
如有需要，请再安排一个人进行协助。
谨慎
非正确使用带来损坏的危险！
如果使用不正确，晶圆盘和晶圆升降机可能会被损坏。
请确保晶圆盘上没有任何突出的物体。
请确保正确的晶圆盘已经被正确地放置在晶圆盘升降板上。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全
使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文 2.7 操作 SWS 的安全须知
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2.7.3 关闭保护盖时的安全须知
2
– 设备运行期间 SWS 的推拉门可以被打开以更换晶圆盘 - SWS 将继续生产。打开此门仅会停
用晶圆盘升降机。
– 如打开保护罩即将 SWS 设定为紧急关闭状态。
2.7.4 线性浸渍单元 （LDU）的安全须知
2
警告
有夹伤的危险！
在关闭保护盖时有夹住和夹伤手的危险。
在打开或关闭推拉门时，务必握住所提供的握槽。
关闭保护盖时，不要将肢体伸入保护盖或推拉门与贴片机外壳间的缝隙中。此区域已
用黑黄双色警告条标明。
危险
有害物质 （焊剂）！
用于线性浸渍单元的焊剂对健康有危害！
请确保阅读与焊剂一同提供的安全数据表 （《材料安全数据表》 - MSDS）
请确保遵守其中的所有规定。
在填装和清洁 LDU 以及在弃置焊剂时，请穿戴要求的防护服 （如，呼吸保护装置、
手套、护目镜）。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
2.8 安全功能 使用软件版本 SC.708.0 或更新 2014 年 12 月版 简体中文
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2.8 安全功能
2.8.1 保护盖
2
图 2.8 - 1 保护盖和其他盖子
(1) 保护盖
(2) 保护盖
(3) 输入传送导轨上的翻盖和护手装置
(4) 输出传送导轨上的翻盖和护手装置
(5) 带推拉门的晶圆升降机
(6) SWS 上的固定保护盖
2
在悬臂的行程范围内有两个可以向上翻折的保护盖 （物件 1 和 2）。我们还安装了侧面屏障，以
防止从侧面进入贴片机。在 PCB 传送导轨的传送带上还设有两个翻盖 （物件 3 和 4），用于防止
进入 PCB 传送导轨。