维修手册 - 第106页

AV131 维修手册 5.3 作业部 搬送方面 D79MCC-Y 3-200-A0 5.3- 1 5.3. 作业部搬送方面 D79MC C-Y3-200-A0 5.3. 1 基板搬送部 装置编号： N610060945A A 编号 名称 型号 1. 搬送臂向前检测 P914S1 2. 搬送臂向前减速 检测 P914S1 3. 搬送臂返回检测 P914S1 4. 定位气缸返回检 测 D-A73 5. 定位气缸前进检 测 D-A73 1. …

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5.2 搬送导轨
D79MCC-Y3-000-A0
5.2-2
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5.3 作业部搬送方面
D79MCC-Y3-200-A0
5.3-1
5.3. 作业部搬送方面
D79MCC-Y3-200-A0
5.3.1 基板搬送部
装置编号：
N610060945AA
编号 名称 型号
1.
搬送臂向前检测
P914S1
2.
搬送臂向前减速检测
P914S1
3.
搬送臂返回检测
P914S1
4.
定位气缸返回检测
D-A73
5.
定位气缸前进检测
D-A73
1.
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5.3 作业部搬送方面
D79MCC-Y3-200-A0
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