维修手册 - 第155页
AV131 维修手册 7.7 作业部 搬送方面 D79MCC-Z 3-200-A0 7.7- 2 7.7. 2 基板搬送部 Unit No . N610060945A A 检查 周期 No. 项目 作业 详细内容 确保传送销爪没 有松动。 每周 a. 传送销爪 确保传送销爪没 有损坏或变形 。 加油 周期 No. 项目 作业 加油量 详细内容 1. 杆支点 1 至 2 滴 3 个月 2. 轴 适量 位置 : 滑动面 1. 杆支点…
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维修手册
7.7 作业部搬送方面
D79MCC-Z3-200-A0
7.7-1
7.7. 作业部搬送方面
D79MCC-Z3-200-A0
7.7.1 搬送臂连动部
Unit No. N610060946AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
a.
滚轮 确保滚轮旋转平稳。
每月
b.
搬送臂连动部
确保该单元移动平稳，无磨损或异常噪声。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
每月
1.
凸轮从动件
0.1 cm
3
位置: 滑动面
a / 1. 凸轮从动件
AV131
维修手册
7.7 作业部搬送方面
D79MCC-Z3-200-A0
7.7-2
7.7.2 基板搬送部
Unit No. N610060945AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
确保传送销爪没有松动。
每周
a.
传送销爪
确保传送销爪没有损坏或变形。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
杆支点
1 至 2 滴
3 个月
2.
轴
适量 位置: 滑动面
1. 杆支点
a. 传送销爪
2. 轴
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7.8 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8-1
7.8. 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8.1 元件供给部
Unit No. N610064467AA / N610060958AA
120 站
60 站
供给架
供给架
2. 凸轮从动件
a / 1. LM 导轨
b / 3. 滚珠丝杠轴
2. 凸轮从动件
供给架
a / 1. LM 导轨
2. 凸轮从动件
b / 3. 滚珠丝杠轴