维修手册 - 第156页
AV131 维修手册 7.8 元件供 给部 D79MCC-Z 5-000-A0 7.8- 1 7.8. 元件供给部 D79MC C-Z5- 00 0-A0 7.8. 1 元件供给部 Unit No . N610064467A A / N610060958AA 120 站 60 站 供给架 供给架 2. 凸轮从 动件 a / 1. LM 导轨 b / 3. 滚珠丝杠轴 2. 凸轮从 动件 供给架 a / 1. LM 导轨 2. 凸…
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7.7 作业部搬送方面
D79MCC-Z3-200-A0
7.7-2
7.7.2 基板搬送部
Unit No. N610060945AA
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
确保传送销爪没有松动。
每周
a.
传送销爪
确保传送销爪没有损坏或变形。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
杆支点
1 至 2 滴
3 个月
2.
轴
适量 位置: 滑动面
1. 杆支点
a. 传送销爪
2. 轴
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7.8 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8-1
7.8. 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8.1 元件供给部
Unit No. N610064467AA / N610060958AA
120 站
60 站
供给架
供给架
2. 凸轮从动件
a / 1. LM 导轨
b / 3. 滚珠丝杠轴
2. 凸轮从动件
供给架
a / 1. LM 导轨
2. 凸轮从动件
b / 3. 滚珠丝杠轴
AV131
维修手册
7.8 元件供给部
D79MCC-Z5-000-A0
7.8-2
检查
周期
No.
项目 作业 详细内容
a.
LM 导轨
清除异物或灰尘。
每月
b.
滚珠丝杠轴
清除异物或灰尘。
加油
周期
No.
项目 作业 加油量 详细内容
1.
LM 导轨 (2 个)
每个
120 站
2.0 cm
3
60 站
1.0 cm
3
位置: 轨道表面
2.
凸轮从动件
120 站 (12 个)
60 站 (6 个)
每个
1.9 cm
3
位置: 滚轮表面
3 个月
3.
滚珠丝杠轴
120 站
80 cm
3
60 站
50 cm
3
位置: 滑动面