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Contents User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Edition 04/2018 6 4.1.2.2 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84 4.1.2.3 Means of transpor…
User manual SIPLACE Wafer System (SWS) Contents
Edition 04/2018
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2.8 Locking the SIPLACE Wafer System and attaching warning labels. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.8.1 Purpose and scope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.8.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.8.3 Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.8.4 Responsibility and obligations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.8.5 Training . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.9 ESD guidelines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.9.1 What does ESD mean? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.9.2 Important measures to protect against static charging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
3 Technical data and assemblies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61
3.1 Technical data - SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
3.2 Ambient conditions and connection values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
3.2.1 Ambient conditions for packaging, transportation and storage . . . . . . . . . . . . . . . 62
3.2.2 Environmental conditions for operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
3.2.3 Electrical ratings and energy consumption. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
3.2.4 Compressed air specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
3.2.5 Dimensions and weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
3.2.5.1 Overview of dimensions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
3.2.6 Center of gravity for SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
3.3 Overview of the modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
3.4 Description of the SWS modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
3.4.1 Supply unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
3.4.2 Flip unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .70
3.4.3 Wafer Camera System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.4.4 Wafer table. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
3.4.4.1 Wafer support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.4.5 Die ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
3.4.6 Ejector tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
3.4.7 Wafer changer system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
3.4.7.1 Magazine lift. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
3.4.7.2 Adjustable magazine plate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
3.4.7.3 Wafer changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
4 Setting up and commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83
4.1 Delivery configuration and transportation of SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
4.1.1 Shipping packaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
4.1.1.1 Dimensions of transportation packaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
4.1.1.2 SIPLACE Wafer System weight when ready for dispatch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
4.1.2 Transporting the SWS in a crate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
4.1.2.1 Services . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84
Contents User manual SIPLACE Wafer System (SWS)
Edition 04/2018
6
4.1.2.2 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84
4.1.2.3 Means of transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84
4.1.3 Transporting the SWS without a crate or pallet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.2 Means of transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1.3.3 Fork lift attachment points on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
4.1.3.4 Points to be observed while transporting the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
4.2 Infrastructure at the installation location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.1 Weight and surface load. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.2 Compressed air supply to SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3 Mains power supply to the SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3.1 Danger notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.2.3.2 Checking the mains power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88
4.2.4 Removing the transport locks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.5 Removing the corrosion protection from the guide rails. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.6 Power supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
5 SWS tasks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5.1 Filling the magazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5.2 Inserting the magazine into the magazine lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .92
5.2.1 Swiveling the magazine up and closing it. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .92
5.3 Setting up the needle configuration for the ejector system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .93
5.3.1 Setting the needle with the calibration standard 03098221-xx. . . . . . . . . . . . . . . .95
5.4 Checking and configuring the tools and nozzles on the flip unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
5.5 Checking the reject bin of the flip unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98
5.6 Refilling components at the SWS with the Wafer Changer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98
5.7 Shift changeover tasks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
5.8 Changing the Setup on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
5.9 Controls and displays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.9.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.9.2 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
5.9.3 Ergonomic arrangement of controls. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.3.1 Controls on the control panels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.10 Switching on and off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.10.1 Switching the SWS on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.10.2 Switching the SWS off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.11 The user interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
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6 Options. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
6.1 Nozzle changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
6.1.1 Position of nozzle changers - example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
6.2 Optional components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2.1 Linear Dipping Unit (LDU SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2.2 Die attach unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
6.2.3 Barcode scanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.3 SWS wafer stretcher (expander) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111
6.3.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
6.3.2 Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
6.3.3 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
6.3.4 Setting the stretching height mechanically. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.4.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.4.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
6.3.5 Setting the frame width for 8" wafer supports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.5.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.5.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
6.3.6 Converting the SWS wafer stretcher (expander) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.6.1 Parts in the 12" wafer expander retrofit kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
6.3.6.2 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
6.3.6.3 Removing the 8" wafer support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
6.3.6.4 Differences in conversion from 12" to 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
7 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135