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12 Verschle ißteile Artikelnum mer Saugtell er Kpl. D LM/R - Hel lbeige Part of Service box 03037984 - 03 Dichtungs einheit am Auss techs ystem Part o f Servi cebox [003875 80 - 01] O- Ring 5 X 2 NBR Waferau flagenle…
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Werkzeuge und Arbeitsmittel
Stellen Sie für die Instandhaltungsarbeiten folgende Werkzeuge und Arbeitsmittel bereit:
Werkzeuge und Arbeitsmittel
Artikelnummer
Abfalleimer
Staubsauger
Sammelbehälter
Pinsel
Satz Inbusschlüssel
e.g. 00376492-01
Satz Sechskant-Winkelschraubendeher (0,7 – 2 mm)
00320265-01
Laborhandschuhe (Baumwolle)
00359087-02
Schutzhandschuhe Latex
00372972-01
Service Box SWS (for Siplace CA)
00519790-01 or
00388421-01
Verbrauchsstoffe und Verschleißteile
Stellen Sie für die Instandhaltungsarbeiten folgende Verbrauchsstoffe bereit:
Verbrauchsmittel
Artikelnummer
Fusselfreie Tücher
Reinigungsstäbchen, fusselfrei In Servicebox SWS
00352931-02
SIPLACE-Reinigungstuch
00315253-02
Linsentuch/optisches Tuch
Äthylalkohol
Druckluft
Ölspender mit Structovis GHD
00367071-01
Multipette plus 4981 Datenblatt 613-3669 T22
00386154-02
Combitips Plus 0,1 ml blau T23
03070440-01
Lubcon Thermoplex ALN 1001/00 50 ml (blau) C10
03078556-01
Interflon Fin Grease (Sprühdose)
03020782-01
Papier DIN A 3
Stellen Sie für die Instandhaltungsarbeiten folgende Verschleißteile bereit:
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Verschleißteile
Artikelnummer
Saugteller Kpl. DLM/R-Hellbeige
Part of Servicebox
03037984-03
Dichtungseinheit am Ausstechsystem
Part of Servicebox
[00387580-01]
O-Ring 5 X 2 NBR Waferauflagenleisten
Part of Servicebox
[03073457S01]
Vakuumpumpe Abluft- Schalldaempfer U-1/8 (Festo)
[03050536-01]
Ersatzteilset Vakuumpumpe (Membran)
Part of Servicebox
[03079140-0]
Sicherung SMD Flip-Chip F1 - 24V/3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Wafertisch F1 - 24V/2AT
[03078644-01]
Sicherung SMD Wafertisch F2 - 5V/0,5A-FF
[03078647-01]
Sicherung SMD Waferlift 24V - 3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Versorgung F1 - 24V - 3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Versorgung F2 - 5V/1AT
[03078643-01]
Feinsicherung Waferheizung 6,3AT (Glas)
[03078846-01]
Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten
Die festgelegten Instandhaltungsintervalle für die Kontrolle und den Austausch der Filterelemente
gelten nur für die spezifizierte Druckluftqualität (siehe Druckluftspezifikation in der Betriebsanlei-
tung [00195940-xx]). Andernfalls verkürzen sich die Instandhaltungsintervalle entsprechend.
VORSICHT
Es ist grundsätzlich untersagt, innerhalb des SWS Baugruppen mit Druckluft zu reinigen.
Tragen Sie die durchgeführten Instandhaltungsarbeiten in den Instandhaltungsplan ein. Wir emp-
fehlen Ihnen, die Reihenfolge der Arbeiten im Instandhaltungsplan einzuhalten.
Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen
Sofern bei den einzelnen Arbeiten nicht anders angegeben:
Fahren Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß herunter und schalten Sie diese
aus.
Sichern Sie Bestücker und SWS gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Machen Sie die erforderlichen Komponenten am SWS zugänglich (siehe "Innenraum des
SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
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Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten
Schließen Sie die Schutzhauben am Bestücker und alle zuvor geöffneten Komponenten am
SWS (siehe "Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
Entfernen Sie die Sicherungen gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Schalten Sie SWS und Bestücker wieder ein.
Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen
Schutzhauben am Bestücker öffnen und schließen
Öffnen Sie die entsprechende Schutzhaube am Bestücker, um den Innenraum des SWS von
oben her zugänglich zu machen.
Führen Sie die erforderlichen Instandhaltungsarbeiten aus und schließen Sie die Schutz-
haube.
Magazin-Lift aufschwenken
Für Instandhaltungsarbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es not-
wendig, den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen.
VORSICHT
Stellen Sie unbedingt sicher, dass der Stützfuß des SWS zur Seite ausgeklappt ist, bevor Sie
den Magazin-Lift aufschwenken. Andernfalls besteht die Gefahr, dass der Magazin-Lift kippt.
Klappen Sie den Stützfuß des SWS zur Seite aus.
Öffnen Sie die untere Tür des Magazin-Lifts mit Hilfe des Maschinenschlüssels.