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Verschleißteile
Artikelnummer
Saugteller Kpl. DLM/R-Hellbeige
Part of Servicebox
03037984-03
Dichtungseinheit am Ausstechsystem
Part of Servicebox
[00387580-01]
O-Ring 5 X 2 NBR Waferauflagenleisten
Part of Servicebox
[03073457S01]
Vakuumpumpe Abluft- Schalldaempfer U-1/8 (Festo)
[03050536-01]
Ersatzteilset Vakuumpumpe (Membran)
Part of Servicebox
[03079140-0]
Sicherung SMD Flip-Chip F1 - 24V/3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Wafertisch F1 - 24V/2AT
[03078644-01]
Sicherung SMD Wafertisch F2 - 5V/0,5A-FF
[03078647-01]
Sicherung SMD Waferlift 24V - 3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Versorgung F1 - 24V - 3AT
[03078645-01]
Sicherung SMD Versorgung F2 - 5V/1AT
[03078643-01]
Feinsicherung Waferheizung 6,3AT (Glas)
[03078846-01]
Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten
Die festgelegten Instandhaltungsintervalle für die Kontrolle und den Austausch der Filterelemente
gelten nur für die spezifizierte Druckluftqualität (siehe Druckluftspezifikation in der Betriebsanlei-
tung [00195940-xx]). Andernfalls verkürzen sich die Instandhaltungsintervalle entsprechend.
VORSICHT
Es ist grundsätzlich untersagt, innerhalb des SWS Baugruppen mit Druckluft zu reinigen.
Tragen Sie die durchgeführten Instandhaltungsarbeiten in den Instandhaltungsplan ein. Wir emp-
fehlen Ihnen, die Reihenfolge der Arbeiten im Instandhaltungsplan einzuhalten.
Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen
Sofern bei den einzelnen Arbeiten nicht anders angegeben:
Fahren Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß herunter und schalten Sie diese
aus.
Sichern Sie Bestücker und SWS gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Machen Sie die erforderlichen Komponenten am SWS zugänglich (siehe "Innenraum des
SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
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Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten
Schließen Sie die Schutzhauben am Bestücker und alle zuvor geöffneten Komponenten am
SWS (siehe "Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen" auf Seite 14).
Entfernen Sie die Sicherungen gegen unbefugtes Wiedereinschalten.
Schalten Sie SWS und Bestücker wieder ein.
Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen
Schutzhauben am Bestücker öffnen und schließen
Öffnen Sie die entsprechende Schutzhaube am Bestücker, um den Innenraum des SWS von
oben her zugänglich zu machen.
Führen Sie die erforderlichen Instandhaltungsarbeiten aus und schließen Sie die Schutz-
haube.
Magazin-Lift aufschwenken
Für Instandhaltungsarbeiten an Komponenten, die von oben her nicht zugänglich sind, ist es not-
wendig, den Innenraum des SWS von der Vorderseite her zugänglich zu machen.
VORSICHT
Stellen Sie unbedingt sicher, dass der Stützfuß des SWS zur Seite ausgeklappt ist, bevor Sie
den Magazin-Lift aufschwenken. Andernfalls besteht die Gefahr, dass der Magazin-Lift kippt.
Klappen Sie den Stützfuß des SWS zur Seite aus.
Öffnen Sie die untere Tür des Magazin-Lifts mit Hilfe des Maschinenschlüssels.
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Legende
[1] Schraube
Lösen Sie die Schraube, mit der der Maga-
zin-Lift am SWS fixiert ist.
An den Stellplätzen 1 und 3 befinden sich
diese Schrauben auf der rechten Seite, an
den Stellplätzen 2 und 4 auf der linken
Seite.
Schwenken Sie den Magazin-Lift zur Seite.
Der Innenraum des SWS ist nun von vorn
her zugänglich.
Führen Sie die erforderlichen Instandhal-
tungsarbeiten aus und schließen Sie den
Magazin-Lift.
Magazin-Lift schließen
Schwenken Sie den Magazin-Lift wieder in seine Ausgangsposition zurück.
Fixieren Sie den Magazin-Lift am SWS mit den beiden zuvor entfernten Schrauben.
Schließen Sie die untere Tür des Magazin-Lifts mit Hilfe des Maschinenschlüssels.
Klappen Sie den Stützfuß des SWS wieder ein, so dass er parallel zum SWS steht (siehe
"Abb. 2.5 - 1" auf Seite 20).
Versorgungseinheit herausziehen
Für Instandhaltungsarbeiten an Komponenten, die von vorn und seitlich zugänglich sein müssen,
ist es zusätzlich notwendig, die Versorgungseinheit herauszuziehen.
VORSICHT
Achten Sie beim Herausziehen und beim Einschieben des Versorgungseinschubs unbedingt
darauf, dass die elektrische und pneumatische Leitungen nirgendwo hängenbleiben und oder
gar abgerissen werden.
Öffnen Sie den Magazin-Lift (siehe "Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14).
Entfernen Sie die beiden Schrauben an der Versorgungseinheit.
Ziehen Sie die Versorgungseinheit heraus.
Führen Sie die erforderlichen Instandhaltungsarbeiten aus und schieben Sie die Versor-
gungseinheit wieder ein.