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23 Intervall Tätigkeit Seite Arbeitsmit tel/E rsatzteil Greifer Z- Führung s chmiere n 3.12.4 Multipette, Lubc on Thermo plex ALN 1001/ 00 (link er Stel lplatz) SIPL AC E - Reinigungstuch (rechter Stellplat z) Magazin - …
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Instandhaltungsplan
Als Grundlage für unsere Instandhaltungsintervalle nehmen wir folgende Maschinen-Auslastung
an:
acht Stunden pro Schicht, drei Schichten pro Tag, fünf Tage die Woche, vier Wochen pro Monat.
HINWEIS
Die "tägliche Instandhaltung" bzw. "Instandhaltung nach jeder Schicht" sind Reinigungsarbeiten
und somit Bestandteile der Maschinen-Bedienung. Diese muss bei Bedarf erledigt werden,
z.B. der Abfallbehälter muss je nach Abfallmenge mehrmals am Tag geleert werden.
Instandhaltungsplan nach Intervallen
Intervall
Tätigkeit
Kapitel
Arbeitsmittel/Ersatzteil
1 Tag
Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler
absaugen
3.7.1
Staubsauger
1-Woche
Abblasdruck-Manometer für Die-Attach-Unit
und Flip-Unit prüfen
3.7.2
Spiegel
Die-Attach-Unit
Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit
prüfen
3.9.1
Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Flip-Unit
Kulisse / Mitnehmer reinigen
3.11.1
Äthylalkohol, Reinigungsstäb-
chen, fusselfrei
Greifer
Greiferbacken reinigen
3.12.1
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Magazin-Lift
Frame-Abfrage reinigen
3.13.2
optisches Tuch
Magazin-Lift
Magazinauflage absaugen
3.13.1
Staubsauger, Pinsel
Wafer-Tisch
Auflagleiste für Wafer-Rahmen reinigen und
auf Schürfstellen achten
3.17.1
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
1-Monat
Ausstechsystem
Vakuumkappe reinigen
3.8.2
Druckluft, fusselfreies Tuch,
evt. etwas Äthylalkohol
Greifer
Führungen reinigen
3.12.2
SIPLACE-Reinigungstuch
Greifer
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel
schmieren
3.12.3
Sprühfett Aerosol
23
Intervall
Tätigkeit
Seite
Arbeitsmittel/Ersatzteil
Greifer
Z-Führung schmieren
3.12.4
Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00 (linker Stellplatz)
SIPLACE-Reinigungstuch
(rechter Stellplatz)
Magazin-Lift
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen
3.13.3
SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Changer
Führungschiene reinigen
3.16.1
SIPLACE-Reinigungstuch
Wafer-Tisch
Optische Sensoren reinigen
3.17.3
optisches Tuch
Wafer-Tisch
X-/Y-Spindeln und Linearführungen reinigen
3.17.4
SIPLACE-Reinigungstuch
3-Monat
Ausstechsystem
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsys-
tem reinigen
3.8.3
fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Ausstechsystem
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprü-
fen
3.8.5
keine
Ausstechsystem
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zen-
triereinheit reinigen
3.8.4
fusselfreies Tuch, Äthylalkohol,
Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Die-Attach-Unit
Pipettenaufnahmre auf Dichtigkeit prüfen
3.9.2
SWS GUI
Die-Attach-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
3.9.3
ggf. Saugteller
Flip-Unit
Abwurfbehälter prüfen: leeren, Auflageflä-
chen reinigen
3.11.5
fusselfreies Tuch
Flip-Unit
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen (darf
nicht in Kulisse haken)
3.11.2
keine
Flip-Unit
Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen
3.11.3
keine
Flip-Unit
Saugteller an der Pipettenaufnahme auf Dich-
tigkeit prüfen
3.11.4
ggf. Saugteller
4-Monat
Ausstechsystem
Lippendichtring an Nadelsystem und Zen-
triereinheit auf Dichtigkeit prüfen
3.8.6
keine
Ausstechsystem
Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem
schmieren
3.8.7
Sprühfett (Aerosol)
Die-Attach-Unit
Rückholeinheit schmieren
3.9.4
Ölspender mit Structovis GHD
Flip-Unit
Linearführungen schmieren am Drehteil
schmieren
3.11.6
Multipette, Lubcon Thermoplex
ALN 1001/00
24
Intervall
Tätigkeit
Seite
Arbeitsmittel/Ersatzteil
Vakuum-System
Vakuumleistung überprüfen, Verschmut-
zungen entfernen
3.15.1
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
6-Monat
Ausstechsystem
Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem tes-
ten
3.8.9
SWS GUI
Ausstechsystem
Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prü-
fen
3.8.8
keine
Elastische Kupplung der Spindelantriebe
Auf korrekte Funktion überprüfen, Sichtprü-
fung, Befestigung nachziehen
3.10.1
3.10.2
3.10.3
keine
Energieketten auf Freigängigkeit und kor-
rekten Sitz der Verschlussclips prüfen
3.7.4
keine
Magazin-Lift
Führung der Schiebetür reinigen
3.13.4
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Sichtprüfung und Reinigung des Maschine-
ninnenraums
3.7.3
Pinsel, Staubsauger, Reini-
gungsstäbchen, fusselfrei
1-Jahr
Ausstechsystem
Linearführung des Ausstechsystems reinigen
3.8.10
SIPLACE-Reinigungstuch
Die-Attach-Unit
Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen
3.9.5
keine
Flip-Unit
Angeschlossene Kabel und Schläuche auf
festen Sitz und Scheuerstellen überprüfen
3.11.7
keine
PC
PC-Filter reinigen
3.14.1
Filter
PC
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen
3.14.2
keine
Intervall
Tätigkeit
Seite
Arbeitsmittel/Ersatzteil
Vakuum-System
Vakuumpumpe: Membrane wechseln
3.15.3
Membran der Vakuumpumpe
Vakuum-System
Ventile auf Dichtigkeit prüfen
3.15.2
keine
Bei Bedarf
Ausstechsystem
Ausstechnadel auf Bruch überprüfen
3.8.2.1
3.8.2.2
keine
Wafer-Tisch
Bei gehäufter Produktumstellung O-Ringe
der Waferauflageleisten auf Undichtigkeit
prüfen, ggf. erneuern und fetten
3.17.2
UNISILIKON L250L