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Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums

Intervall 6-monatlich

Arbeitsmittel Pinsel, Staubsauger, Reinigungsstäbchen, fusselfrei

 Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.

 Öffnen Sie Schutzhaube am zu prüfenden SWS.

 Schwenken Sie den Magazin-Lift auf (siehe "Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14).

 Ziehen Sie die Versorgungseinheit heraus (siehe "Versorgungseinheit herausziehen" auf

Seite 15).

 Reinigen Sie den Maschineninnenraum mit einem Staubsauger und einem Pinsel vorsichtig

und sorgfältig von Staub und Verschmutzungen.

Achten Sie dabei darauf, dass die induktiven Sensoren und Endschalter frei von Verschmut-

zung sind und dass sich keine abgeworfenen Bauteile im Innenraum befinden.

 Reinigen Sie die offen liegenden und frei zugänglichen Platinen vorsichtig und sorgfältig mit

Pinsel und Reinigungsstäbchen von Staub und Verschmutzungen.

 Schieben Sie die Versorgungseinheit zurück (siehe "Versorgungseinheit einschieben" auf

Seite 16) und schließen Sie den Magazin-Lift (siehe "Magazin-Lift schließen" auf Seite

15).Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen

Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen

Intervall 6-monatlich

Arbeitsmittel keine

Legende

[1] Verschlussclip

 Überprüfen Sie den Energiekettenlauf an

Wafer-Tisch (X- und Y-Richtung) sowie

Wafer-Changer auf Freigängigkeit, Abrieb

und Kabelbruch.

 Achten Sie darauf, dass die Verschlussc-

lips [1] an den Rückseiten der Ketten kor-

rekt sitzen.

 Rasten Sie ausgehakte Clips wieder in

ihrer korrekten Position ein.

Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)

Für Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem müssen Sie den Wafer-Tisch manuell in die

Wafer-Change-Position fahren.

Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren

Das SWS muss eingeschaltet sein und referenziert sein.

Für das Verfahren des Wafer-Tisches ist in der SWS GUI mindestens das Bediener-Level

Machine service erforderlich (s.u.).

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations

subsystems [2] -> Wafer handling [3] -> Wafer table positions [4] und klicken Sie auf

den Button Go to change position [5] (s. nachfolgende Bilder).

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

Die-Ejector hochfahren

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations

subsystems [2] -> Die handling [3] -> Ejection Unit [4] und klicken Sie auf den Button

Ejector:raise [5] (s. nachfolgende Bilder).