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29 Der Waf er - Tisc h wird we ggefahre n. Die - Ejector hochfa hren Wechse ln Sie in der SW S GUI in d ie Ans icht Manual operations [1] - > Manu al operat ions subsystem s [2] - > Die h andling [3] - > Eject…
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Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector)
Für Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem müssen Sie den Wafer-Tisch manuell in die
Wafer-Change-Position fahren.
Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren
Das SWS muss eingeschaltet sein und referenziert sein.
Für das Verfahren des Wafer-Tisches ist in der SWS GUI mindestens das Bediener-Level
Machine service erforderlich (s.u.).
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations
subsystems [2] -> Wafer handling [3] -> Wafer table positions [4] und klicken Sie auf
den Button Go to change position [5] (s. nachfolgende Bilder).
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Der Wafer-Tisch wird weggefahren.
Die-Ejector hochfahren
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations
subsystems [2] -> Die handling [3] -> Ejection Unit [4] und klicken Sie auf den Button
Ejector:raise [5] (s. nachfolgende Bilder).
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Der Die Ejector wird hochgefahren, so dass er zugänglich ist.
Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus und sichern Sie sie gegen
unbefugtes Wiedereinschalten.
Öffnen Sie Schutzhaube am zu prüfenden SWS.
Nehmen Sie die erforderlichen Arbeiten vor.
HINWEIS
Nach dem manuellen Verfahren von Komponenten sollte das SWS nach dem Wiedereinschalten
initialisiert werden.