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30 Der Die Ej ector w ird hoch g efahre n, so das s er zugä nglich ist.  Schalten Sie den Bestüc ker und das SWS or dnungs gemäß aus und sicher n Si e sie geg en unbefugt es Wieder einsc halten .  Öffnen Si e Schutz ha…

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

Die-Ejector hochfahren

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations

subsystems [2] -> Die handling [3] -> Ejection Unit [4] und klicken Sie auf den Button

Ejector:raise [5] (s. nachfolgende Bilder).

Der Die Ejector wird hochgefahren, so dass er zugänglich ist.

 Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus und sichern Sie sie gegen

unbefugtes Wiedereinschalten.

 Öffnen Sie Schutzhaube am zu prüfenden SWS.

 Nehmen Sie die erforderlichen Arbeiten vor.

HINWEIS

Nach dem manuellen Verfahren von Komponenten sollte das SWS nach dem Wiedereinschalten

initialisiert werden.

Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen

Vakumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen  Altes System Bayonett

Intervall monatlich oder bei Bedarf

Arbeitsmittel Druckluft, fusselfreies Tuch, evt. etwas Äthylalkohol

Um ein einwandfreies Ansaugen der Wafer-Folie zu gewährleisten, muss die Vakuumkappe des

Nadelsystems frei von Verschmutzungen und Wafer-Resten sein.

 Drehen Sie die Verdreh-Arretierung der Zentriereinheit im Uhrzeigersinn und heben Sie das

Nadelsystem heraus.

Legende

[1] Vakuumkappe

 Ziehen Sie die Vakuumkappe [1] vom

Nadelsystem.

 Halten Sie die Kappe gegen das Licht und

prüfen Sie, ob die Vakuumöffnungen der

Kappe frei sind.

 Reinigen Sie die Kappe mit einem fussel-

freien Tuch, wenn nötig mit Druckluft.

Die ringförmigen Öffnungen müssen frei

von Verunreinigungen sein.

Legende

[2] Ausstechnadel

 Prüfen Sie die Ausstechnadel auf Bruch

oder Abnutzung.

 Wenn nötig, muss die Nadel ausgetauscht

und nach dem Austausch mit Hilfe der

Einstell-Lehre eingestellt werden (siehe

Betriebsanleitung).

 Setzen Sie die Vakuumkappe wieder auf.