00195962-03_MM SWS-DE - 第32页
32 Vakumkappe reinigen und Ausste chnadel überprüfen Neues Syst em Mag net Intervall monatlic h oder be i Bedarf Arbeits mittel Druckluft, fus selfreies Tuch, ev t. etwas Äthylalkohol Um ein ein wandfr eies Ansa ugen d…
31
Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen
Vakumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen Altes System Bayonett
Intervall monatlich oder bei Bedarf
Arbeitsmittel Druckluft, fusselfreies Tuch, evt. etwas Äthylalkohol
Um ein einwandfreies Ansaugen der Wafer-Folie zu gewährleisten, muss die Vakuumkappe des
Nadelsystems frei von Verschmutzungen und Wafer-Resten sein.
Drehen Sie die Verdreh-Arretierung der Zentriereinheit im Uhrzeigersinn und heben Sie das
Nadelsystem heraus.
Legende
[1] Vakuumkappe
Ziehen Sie die Vakuumkappe [1] vom
Nadelsystem.
Halten Sie die Kappe gegen das Licht und
prüfen Sie, ob die Vakuumöffnungen der
Kappe frei sind.
Reinigen Sie die Kappe mit einem fussel-
freien Tuch, wenn nötig mit Druckluft.
Die ringförmigen Öffnungen müssen frei
von Verunreinigungen sein.
Legende
[2] Ausstechnadel
Prüfen Sie die Ausstechnadel auf Bruch
oder Abnutzung.
Wenn nötig, muss die Nadel ausgetauscht
und nach dem Austausch mit Hilfe der
Einstell-Lehre eingestellt werden (siehe
Betriebsanleitung).
Setzen Sie die Vakuumkappe wieder auf.
32
Vakumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen Neues System Magnet
Intervall monatlich oder bei Bedarf
Arbeitsmittel Druckluft, fusselfreies Tuch, evt. etwas Äthylalkohol
Um ein einwandfreies Ansaugen der Wafer-Folie zu gewährleisten, muss die Vakuumkappe des
Nadelsystems frei von Verschmutzungen und Wafer-Resten sein.
Drehen Sie die Verdreh-Arretierung der Zentriereinheit im Uhrzeigersinn und heben Sie das
Nadelsystem heraus.
Legende
[1] Vakuumkappe
Ziehen Sie die Vakuumkappe [1] vom
Nadelsystem.
Halten Sie die Kappe gegen das Licht und
prüfen Sie, ob die Vakuumöffnungen der
Kappe frei sind.
Reinigen Sie die Kappe mit einem fussel-
freien Tuch, wenn nötig mit Druckluft.
Die ringförmigen Öffnungen müssen frei
von Verunreinigungen sein.
Legende
[2] Ausstechnadel
Prüfen Sie die Ausstechnadel auf Bruch
oder Abnutzung.
Wenn nötig, muss die Nadel ausgetauscht
und nach dem Austausch mit Hilfe der
Einstell-Lehre eingestellt werden (siehe
Betriebsanleitung).
Setzen Sie die Vakuumkappe wieder auf.
33
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen
Intervall: 3-monatlich
Arbeitsmittel: fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Verschmutzungen an den Magenten und Keramikkugeln an der Unterseite des Nadelsystems
müssen regelmäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentrierein-
heit zu gewährleisten.
Legende:
Keramikkugeln [1]
Magnete [2]
Wischen Sie die Magnete und die Keramikkugeln mit einem fusselfreien Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungsstäbchen.
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen
Intervall: 3-monatlich
Arbeitsmittel: fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Verschmutzungen an den Magentauflagen und den Prismen der Zentriereinheit müssen regel-
mäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewähr-
leisten.