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33 Magnete und Keramikkugeln am Nadelsy st em reinigen Intervall : 3- monatlic h Arb eit sm itt el: fusselfrei es Tuch, Äthy lalkohol, Re inigungs stäbche n, fuss elfrei Verschmutz ungen a n den Magente n und Keramikk ug…

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Vakumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen Neues System Magnet
Intervall monatlich oder bei Bedarf
Arbeitsmittel Druckluft, fusselfreies Tuch, evt. etwas Äthylalkohol
Um ein einwandfreies Ansaugen der Wafer-Folie zu gewährleisten, muss die Vakuumkappe des
Nadelsystems frei von Verschmutzungen und Wafer-Resten sein.
Drehen Sie die Verdreh-Arretierung der Zentriereinheit im Uhrzeigersinn und heben Sie das
Nadelsystem heraus.
Legende
[1] Vakuumkappe
Ziehen Sie die Vakuumkappe [1] vom
Nadelsystem.
Halten Sie die Kappe gegen das Licht und
prüfen Sie, ob die Vakuumöffnungen der
Kappe frei sind.
Reinigen Sie die Kappe mit einem fussel-
freien Tuch, wenn nötig mit Druckluft.
Die ringförmigen Öffnungen müssen frei
von Verunreinigungen sein.
Legende
[2] Ausstechnadel
Prüfen Sie die Ausstechnadel auf Bruch
oder Abnutzung.
Wenn nötig, muss die Nadel ausgetauscht
und nach dem Austausch mit Hilfe der
Einstell-Lehre eingestellt werden (siehe
Betriebsanleitung).
Setzen Sie die Vakuumkappe wieder auf.
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Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen
Intervall: 3-monatlich
Arbeitsmittel: fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Verschmutzungen an den Magenten und Keramikkugeln an der Unterseite des Nadelsystems
müssen regelmäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentrierein-
heit zu gewährleisten.
Legende:
Keramikkugeln [1]
Magnete [2]
Wischen Sie die Magnete und die Keramikkugeln mit einem fusselfreien Tuch ab.
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungsstäbchen.
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen
Intervall: 3-monatlich
Arbeitsmittel: fusselfreies Tuch, Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Verschmutzungen an den Magentauflagen und den Prismen der Zentriereinheit müssen regel-
mäßig entfernt werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewähr-
leisten.
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Legende
Prismen für Keramikkugeln [1]
Magnetauflange [2]
Wischen Sie die Magnetauflagen und die Prismen mit einem fusselfreien Tuch ab
Reinigen Sie die Oberflächen mit einem mit Äthylalkohol befeuchteten Reinigungsstäbchen.
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen (nur Bajonett-Verschluß)
Intervall: 3-monatlich
Arbeitsmittel: keine
Die Niederhalterpins am Nadelssystem müssen regelmäßig auf Bruch oder Verbiegung überprüft
werden, um den korrekten Sitz des Nadelsystems in der Zentriereinheit zu gewährleisten.
Legende
[1] Niederhalter-Pin
Stellen Sie sicher, dass die drei Niederhal-
ter-Pins weder verbogen noch gebrochen
sind.
Wenn die Pins beschädigt sind, muss das
Nadelsystem ausgetauscht werden (siehe
Serviceanleitung).