00195962-03_MM SWS-DE - 第4页
4 Manometer für den Abblasdruck von Die - Attach - Unit und Fl ip - Unit prüfen ......................................... 26 Sichtpr üfung und Reinigung des Maschineninnenraums ...........................................…
Inhalt
7
Lage von Schaltern und Tastern am SWS ..................................................................... 7
Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen ................................................. 8
Generelle Sicherheitshinweise bei Instandhaltungsarbeiten ...................................... 8
Werkzeuge und Arbeitsmittel ....................................................................................... 11
Verbrauchsstoffe und Verschleißteile ......................................................................... 11
Was Sie bei Instandhaltungsarbeiten grundsätzlich beachten sollten ..................... 12
Bevor Sie Instandhaltungsarbeiten ausführen ........................................................................................ 12
Nach Abschluss der Instandhaltungsarbeiten ......................................................................................... 13
Innenraum des SWS zugänglich machen und schließen ........................................................................ 13
Multipette verwenden .................................................................................................................................. 15
Baugruppenübersicht des SWS ................................................................................... 20
Instandhaltungsplan ..................................................................................................... 22
Instandhaltungsplan nach Intervallen ....................................................................................................... 22
Allgemeine Instandhaltungsarbeiten........................................................................... 25
Abwurfbehälter leeren und Pipettenwechsler absaugen ........................................................................ 25
4
Manometer für den Abblasdruck von Die-Attach-Unit und Flip-Unit prüfen ......................................... 26
Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums ...................................................................... 27
Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen .............................. 27
Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) ..................................... 28
Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren ......................................................................................... 28
Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen......................................................................... 31
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen ......................................................................... 33
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen .......................................................... 33
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen (nur Bajonett-Verschluß) ........................................... 34
Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen ....................................... 35
Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem schmieren .......................................................................... 40
Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prüfen (nur Bajonett-Verschluß) ........................................ 41
Vakuum am Ausstechsystem testen ......................................................................................................... 42
Linearführung des Ausstechsystems reinigen ........................................................................................ 46
Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit ........................................................ 47
Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen ............................................................................. 47
Pipettenaufnahme Die-Attach-Modul auf Dichtigkeit prüfen .................................................................. 48
Saugteller (Membran) an der Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ............................................... 52
Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen ................................................................. 53
Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen .............................................................................................................. 53
Instandhaltungsarbeiten an den elastischen Kupplungen der Spindelantriebe ..... 55
Kupplungen am Wafertisch prüfen ........................................................................................................... 55
Kupplung am Waferwechsler prüfen ......................................................................................................... 56
Kupplung am Magazin-Lift prüfen ............................................................................................................. 56
Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit ................................................................... 57
5
Kulisse und Mitnehmer reinigen ................................................................................................................ 57
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen ......................................................................................................... 58
Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ................................................................................................. 58
Saugteller an Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ......................................................................... 63
Abwurfbehälter prüfen ................................................................................................................................ 63
Linearführungen am Drehteil schmieren .................................................................................................. 64
Angeschlossene Kabel und Leitungen prüfen ......................................................................................... 65
Instandhaltungsarbeiten am Greifer ............................................................................ 66
Greiferbacken reinigen ............................................................................................................................... 66
Führungsschiene reinigen ......................................................................................................................... 66
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel schmieren ............................................................................ 67
Z-Führung schmieren bzw. reinigen .......................................................................................................... 67
Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift ................................................................... 69
Magazinauflage absaugen .......................................................................................................................... 69
Frame-Abfrage reinigen .............................................................................................................................. 69
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen ........................................................................................................ 70
Führung der Schiebetür reinigen .............................................................................................................. 71
Instandhaltungsarbeiten am PC................................................................................... 72
PC-Filter reinigen ........................................................................................................................................ 72
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen ........................................................................................................... 72
Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem .............................................................. 73
Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen ............................................................................................. 73
Ventile auf Dichtigkeit überprüfen ............................................................................................................. 73
Membrane der Vakuumpumpe wechseln .................................................................................................. 74