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42 Vakuum am Ausste ch system testen Intervall : 6- monatlic h Arbeits mittel: SWS GUI Um einen V akuumv erlust am Aus stoßsy stem ausz uschließen muss des sen V akuumw ert rege l - mäßig üb erprüft w erden. VORSICHT Für…

Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prüfen (nur Bajonett-Verschluß)

Intervall: 6-monatlich

Arbeitsmittel: keine

Die Verdreh-Arretierung, die das Nadelsystem fixiert, muss leichtgängig drehbar sein. Das einge-

setzte Nadelsystem muss sicher in der Arretierung sitzen.

Legende

[ [1] Verdreh-Arretierung offen

[2] Verdreh-Arretierung mit fixiertem Niederhalter-Pin

 Prüfen Sie, ob die Verdreh-Arretierung frei von Fremdkörpern ist und entfernen Sie diese

gegebenenfalls.

 Setzen Sie das Nadelsystem senkrecht in die Verdreh-Arretierung ein.

 Drehen Sie die Verdreh-Arretierung gegen den Uhrzeigersinn, bis der Niederhalter-Pin

korrekt fixiert wird [2].

Vakuum am Ausstechsystem testen

Intervall: 6-monatlich

Arbeitsmittel: SWS GUI

Um einen Vakuumverlust am Ausstoßsystem auszuschließen muss dessen Vakuumwert regel-

mäßig überprüft werden.

VORSICHT

Für diese Überprüfung ist mindestens das Bediener Level Machine service in der SWS GUI

erforderlich. Sie darf nur von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden.

- Referenzieren Sie das SWS.

- Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition (s. Kap.2.8.1).

- Fahren Sie die Ausstecheinheit nach oben (s. Kap.2.8.2).

- Öffnen Sie die Haube des Bestückautomaten, um das SWS zugänglich zu machen.

Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird darauf hin sofort unterbrochen.

Die Portalachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine

entsprechende Meldung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.

 Wechseln Sie in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations subsystems [2] ->

IOs [3] (s. Bild unten)

 Wechseln Sie danach in die Ansicht Manual operations USBIO [1] und wählen Sie den Reiter

USB outputs [2] (s. Bild unten) und schalten Sie alle Vakuum-Verbraucher (Dxx Vacuum …)

über die OFF buttons aus (s. 3), falls einer der Ausgänge aktiv ist. Dies gilt auch für die

Druckluft Ausgänge (Dxx Pressure ...) (s. 3).

 Wechseln Sie aus obiger Ansicht zu Manual operations -> Manual operations

subsystems -> IOs -> Manual operations USBIO -> USB programs [1] und lesen Sie

den Haupt-Vakuumwert unter Main Vacuum [mbar] ab (s. Bild unten).

Achten Sie darauf, dass die Vakuumpumpe angeschaltet ist, wie im Bild unten dargestellt.

Der Haupt Vakuum Wert sollte mind. 700 mbar betragen. S. Anzeige im Bild oben.

 Legen Sie eine Folie oder ein Stück Papier [2] auf die Kappe des Ausstechsystems [1], so dass

alle Öffnungen verschlossen sind (s. Foto unten #2).