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43  Wechse ln Sie aus obige r Ansicht z u Manua l operations - > Manua l operations subsystem s - > IO s -> Manual opera tions USBIO -> USB pro gram s [1] und lesen S ie den Haup t - Vakuumw ert un ter Main …

Vakuum am Ausstechsystem testen

Intervall: 6-monatlich

Arbeitsmittel: SWS GUI

Um einen Vakuumverlust am Ausstoßsystem auszuschließen muss dessen Vakuumwert regel-

mäßig überprüft werden.

VORSICHT

Für diese Überprüfung ist mindestens das Bediener Level Machine service in der SWS GUI

erforderlich. Sie darf nur von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden.

- Referenzieren Sie das SWS.

- Fahren Sie den Wafertisch in die Wechselposition (s. Kap.2.8.1).

- Fahren Sie die Ausstecheinheit nach oben (s. Kap.2.8.2).

- Öffnen Sie die Haube des Bestückautomaten, um das SWS zugänglich zu machen.

Die Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird darauf hin sofort unterbrochen.

Die Portalachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine

entsprechende Meldung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.

 Wechseln Sie in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations subsystems [2] ->

IOs [3] (s. Bild unten)

 Wechseln Sie danach in die Ansicht Manual operations USBIO [1] und wählen Sie den Reiter

USB outputs [2] (s. Bild unten) und schalten Sie alle Vakuum-Verbraucher (Dxx Vacuum …)

über die OFF buttons aus (s. 3), falls einer der Ausgänge aktiv ist. Dies gilt auch für die

Druckluft Ausgänge (Dxx Pressure ...) (s. 3).

 Wechseln Sie aus obiger Ansicht zu Manual operations -> Manual operations

subsystems -> IOs -> Manual operations USBIO -> USB programs [1] und lesen Sie

den Haupt-Vakuumwert unter Main Vacuum [mbar] ab (s. Bild unten).

Achten Sie darauf, dass die Vakuumpumpe angeschaltet ist, wie im Bild unten dargestellt.

Der Haupt Vakuum Wert sollte mind. 700 mbar betragen. S. Anzeige im Bild oben.

 Legen Sie eine Folie oder ein Stück Papier [2] auf die Kappe des Ausstechsystems [1], so dass

alle Öffnungen verschlossen sind (s. Foto unten #2).

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manual operations [1] -> Manual operations

subsystems [2] -> Die handling [3] (s. u.).