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5 Kulisse und Mitneh mer reinigen ................................................................................................................ 57 Drehteil auf Lei chtgängigkeit prüfen ................................…
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Manometer für den Abblasdruck von Die-Attach-Unit und Flip-Unit prüfen ......................................... 26
Sichtprüfung und Reinigung des Maschineninnenraums ...................................................................... 27
Energieketten auf Freigängigkeit und korrekten Sitz der Verschlussclips prüfen .............................. 27
Instandhaltungsarbeiten am Ausstechsystem (Die-Ejector) ..................................... 28
Wafer-Tisch in Wafer-Change-Position fahren ......................................................................................... 28
Vakuumkappe reinigen und Ausstechnadel überprüfen......................................................................... 31
Magnete und Keramikkugeln am Nadelsystem reinigen ......................................................................... 33
Prismenteil und Magnetauflagen an der Zentriereinheit reinigen .......................................................... 33
Niederhalter-Pins am Nadelsystem überprüfen (nur Bajonett-Verschluß) ........................................... 34
Lippendichtring an Nadelsystem und Zentriereinheit auf Dichtigkeit prüfen ....................................... 35
Welle für die Z-Bewegung am Nadelsystem schmieren .......................................................................... 40
Verdreh-Arretierung auf Leichtgängigkeit prüfen (nur Bajonett-Verschluß) ........................................ 41
Vakuum am Ausstechsystem testen ......................................................................................................... 42
Linearführung des Ausstechsystems reinigen ........................................................................................ 46
Instandhaltungsarbeiten an der Die-Attach-Unit ........................................................ 47
Mitnehmer reinigen und auf Leichtgängigkeit prüfen ............................................................................. 47
Pipettenaufnahme Die-Attach-Modul auf Dichtigkeit prüfen .................................................................. 48
Saugteller (Membran) an der Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ............................................... 52
Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen ................................................................. 53
Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen .............................................................................................................. 53
Instandhaltungsarbeiten an den elastischen Kupplungen der Spindelantriebe ..... 55
Kupplungen am Wafertisch prüfen ........................................................................................................... 55
Kupplung am Waferwechsler prüfen ......................................................................................................... 56
Kupplung am Magazin-Lift prüfen ............................................................................................................. 56
Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit ................................................................... 57
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Kulisse und Mitnehmer reinigen ................................................................................................................ 57
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen ......................................................................................................... 58
Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ................................................................................................. 58
Saugteller an Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ......................................................................... 63
Abwurfbehälter prüfen ................................................................................................................................ 63
Linearführungen am Drehteil schmieren .................................................................................................. 64
Angeschlossene Kabel und Leitungen prüfen ......................................................................................... 65
Instandhaltungsarbeiten am Greifer ............................................................................ 66
Greiferbacken reinigen ............................................................................................................................... 66
Führungsschiene reinigen ......................................................................................................................... 66
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel schmieren ............................................................................ 67
Z-Führung schmieren bzw. reinigen .......................................................................................................... 67
Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift ................................................................... 69
Magazinauflage absaugen .......................................................................................................................... 69
Frame-Abfrage reinigen .............................................................................................................................. 69
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen ........................................................................................................ 70
Führung der Schiebetür reinigen .............................................................................................................. 71
Instandhaltungsarbeiten am PC................................................................................... 72
PC-Filter reinigen ........................................................................................................................................ 72
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen ........................................................................................................... 72
Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem .............................................................. 73
Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen ............................................................................................. 73
Ventile auf Dichtigkeit überprüfen ............................................................................................................. 73
Membrane der Vakuumpumpe wechseln .................................................................................................. 74
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Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer .............................................................. 75
Führungsschiene des Greifers reinigen ................................................................................................... 75
Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch.................................................................... 76
Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen .............................................................................................. 76
O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen ........................................................................ 76
Optische Sensoren reinigen ....................................................................................................................... 77
X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen .......................................................................................... 78