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54 Vorgehensweise Überprüfung des Vakuums: 1. Manuelle Betätigung der Vakuumventile und Überprüfung ob es a m richtige Segment ankommt  DieAttach Ventil Y6 2. Elektrische Steuerung über USB - IO und Kontrolle der Vakuum…

Rückholeinheit schmieren und auf Leichtgängigkeit prüfen

Intervall: 4-monatlich

Arbeitsmittel: Ölspender mit Structovis GHD

Legende

[1-3] Schmierstellen an der Mechanik der

Rückholeinheit

 Schmieren Sie die Mechanik an den ge-

zeigten Stellen (Pos. 1 - 3). Nehmen Sie

ggf. ein Reinigungsstäbchen zur Hilfe, um

das Sprühfett gezielt aufzutragen.

 Ziehen Sie die Mechanik der Rückholein-

heit von Hand nach hinten.

Sie muss leichtgängig bewegbar sein.

Vakuumteil auf Dichtigkeit prüfen

Intervall: jährlich

Arbeitsmittel:

Vakuum

Legende

[1] Saugteller am Die-Attach-Kopf

[2] Vakuumanschluss

 Schalten Sie das Vakuum ein und prüfen

Sie den Vakuumanschluss auf Dichtigkeit.

Achten Sie dabei auf Blasgeräusche.

Vorgehensweise Überprüfung des Vakuums:

1. Manuelle Betätigung der Vakuumventile und Überprüfung ob es am richtige Segment ankommt

 DieAttach Ventil Y6

2. Elektrische Steuerung über USB-IO und Kontrolle der Vakuumsensoren (in SW zu manual operation-

>subsysteme->IOs->Flipper and DieAttach).

 Einzeln die Ausgänge DO6 und DO5 ein und ausschalten

 Jeweils überprüfen, ob am Segment Druckluft oder Vakuum anliegt

 Jeweils überprüfen, ob sich die Werte DieAttach (AI6) sinnvoll ändern

o Ausgeschalteten Zustand sollte der Wert ~400-415 sein

o Aktivierter Blasluft sollte der Wert ~65-80 sein

o Aktiviertem Vakuum an einem Segment ~1250-1300; mit beiden Segmenten ~1020-1050

Instandhaltungsarbeiten an den elastischen Kupplungen der

Spindelantriebe

Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte

Funktion überprüft werden.

Kupplungen am Wafertisch prüfen

Intervall: 6-monatlich

Arbeitsmittel:

Inbusschlüssel 2,5

Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung.

X-Kupplung am Wafer-Tisch Y-Kupplung am Wafer-Tisch

Legende

[1] Befestigungsschraube

[2] Elastomerkupplung

 Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig

nach.