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55 Instandhalt ungsarbe iten an den elastische n Kupplungen der Spind elantri ebe Die elastischen Kup plungen der Spind elantriebe müss en r egelmäß ig au f Ver sch leiß und k orrekte Funktion üb erprüft werden. Kupplung…
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Vorgehensweise Überprüfung des Vakuums:
1. Manuelle Betätigung der Vakuumventile und Überprüfung ob es am richtige Segment ankommt
DieAttach Ventil Y6
2. Elektrische Steuerung über USB-IO und Kontrolle der Vakuumsensoren (in SW zu manual operation-
>subsysteme->IOs->Flipper and DieAttach).
Einzeln die Ausgänge DO6 und DO5 ein und ausschalten
Jeweils überprüfen, ob am Segment Druckluft oder Vakuum anliegt
Jeweils überprüfen, ob sich die Werte DieAttach (AI6) sinnvoll ändern
o Ausgeschalteten Zustand sollte der Wert ~400-415 sein
o Aktivierter Blasluft sollte der Wert ~65-80 sein
o Aktiviertem Vakuum an einem Segment ~1250-1300; mit beiden Segmenten ~1020-1050
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Instandhaltungsarbeiten an den elastischen Kupplungen der
Spindelantriebe
Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte
Funktion überprüft werden.
Kupplungen am Wafertisch prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 2,5
Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung.
X-Kupplung am Wafer-Tisch Y-Kupplung am Wafer-Tisch
Legende
[1] Befestigungsschraube
[2] Elastomerkupplung
Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig
nach.
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Kupplung am Waferwechsler prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 1,5
Die Kupplung am Greifer ist mit einer Abdeckplatte verdeckt.
Legende
[1] Abdeckung der Kupplung
[2] Öffnungen oberhalb der
Befestigungsschrauben
Drehen Sie die Kupplung von Hand in eine
Position, in der die Befestigungsschrauben
durch die Öffnungen zugänglich sind.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Kupplung am Magazin-Lift prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 2,5
Die Kupplung für die Z-Richtung befindet sich unten im Magazin-Lift.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Prüfen Sie den Elastomer auf signifikante
Verformungen. Bei Beschädigung muss
die Kupplung ausgetauscht werden.