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56 Kupplung am Waferw echsler prüfen Intervall : 6- monatlic h Arbeits mittel: Inbusschlüs sel 1,5 Die Kuppl ung am Gr eifer ist mit einer Abd eckplat te ver deckt. Legende [ 1] Abdeckun g der Ku ppl ung [2] Öffnung en o…
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Instandhaltungsarbeiten an den elastischen Kupplungen der
Spindelantriebe
Die elastischen Kupplungen der Spindelantriebe müssen regelmäßig auf Verschleiß und korrekte
Funktion überprüft werden.
Kupplungen am Wafertisch prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 2,5
Am Wafer-Tisch befinden sich eine X- und eine Y-Kupplung.
X-Kupplung am Wafer-Tisch Y-Kupplung am Wafer-Tisch
Legende
[1] Befestigungsschraube
[2] Elastomerkupplung
Prüfen Sie alle Befestigungsschrauben auf festen Sitz und ziehen Sie diese wenn nötig
nach.
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Kupplung am Waferwechsler prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 1,5
Die Kupplung am Greifer ist mit einer Abdeckplatte verdeckt.
Legende
[1] Abdeckung der Kupplung
[2] Öffnungen oberhalb der
Befestigungsschrauben
Drehen Sie die Kupplung von Hand in eine
Position, in der die Befestigungsschrauben
durch die Öffnungen zugänglich sind.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Kupplung am Magazin-Lift prüfen
Intervall: 6-monatlich
Arbeitsmittel:
Inbusschlüssel 2,5
Die Kupplung für die Z-Richtung befindet sich unten im Magazin-Lift.
Ziehen Sie bei Bedarf die Befestigungs-
schrauben fest.
Prüfen Sie den Elastomer auf signifikante
Verformungen. Bei Beschädigung muss
die Kupplung ausgetauscht werden.
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Instandhaltungsarbeiten an der Flip-Unit
Um die Flip-Unit zugänglich zu machen, müssen Sie zunächst die EMV-Abdeckung abnehmen
und dann die Abdeckung oberhalb des Flip-Kopfes.
Lösen Sie die sechs Inbusschrauben, mit denen die EMV-Abdeckung befestigt ist, und neh-
men Sie diese ab.
Lösen Sie die beiden Inbusschrauben, mit denen die Abdeckung oberhalb des Flip-Kopfes
befestigt ist und nehmen Sie diese ab.
Führen Sie die erforderlichen Arbeiten durch.
Setzen Sie nach Abschluss der Arbeiten die Abdeckungen wieder auf und befestigen Sie di-
ese.
Warnung vor magnetischem Feld
Die Flip-Unit enthält einen starken Magneten. Achten Sie darauf, dass keine metallischen Gegen-
stände in den Bereich der Flip-Unit gelangen, da diese vom Magneten angezogen werden.
– Nehmen Sie keine über die Instandhaltung hinausgehenden Arbeiten an der Flip-Unit vor. Bei
einem Defekt wird die Flip-Unit komplett augetauscht.
Kulisse und Mitnehmer reinigen
Intervall: wöchentlich
Arbeitsmittel:
Äthylalkohol, Reinigungsstäbchen, fusselfrei
Legende
[1] Kulisse
[2) Drehteil
[3] Reinigungsstäbchen
Reinigen Sie die Kulisse [1] rund um das
Drehteil [2] mit einem Reinigungsstäbchen
oder einem mit Äthylalkohol befeuchteten
Reinigungsstäbchen.