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6 Instandhaltungsa rbeiten am Waf er - Changer .............................................................. 75 Führungsschie ne des Greifers reinigen ....................................................................…
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Kulisse und Mitnehmer reinigen ................................................................................................................ 57
Drehteil auf Leichtgängigkeit prüfen ......................................................................................................... 58
Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ................................................................................................. 58
Saugteller an Pipettenaufnahme auf Dichtigkeit prüfen ......................................................................... 63
Abwurfbehälter prüfen ................................................................................................................................ 63
Linearführungen am Drehteil schmieren .................................................................................................. 64
Angeschlossene Kabel und Leitungen prüfen ......................................................................................... 65
Instandhaltungsarbeiten am Greifer ............................................................................ 66
Greiferbacken reinigen ............................................................................................................................... 66
Führungsschiene reinigen ......................................................................................................................... 66
Lager und Mitnehmernut am Sensorhebel schmieren ............................................................................ 67
Z-Führung schmieren bzw. reinigen .......................................................................................................... 67
Instandhaltungsarbeiten am Magazin-Lift ................................................................... 69
Magazinauflage absaugen .......................................................................................................................... 69
Frame-Abfrage reinigen .............................................................................................................................. 69
Z-Führungen und Z-Spindel reinigen ........................................................................................................ 70
Führung der Schiebetür reinigen .............................................................................................................. 71
Instandhaltungsarbeiten am PC................................................................................... 72
PC-Filter reinigen ........................................................................................................................................ 72
PC-Lüfter auf Funktion überprüfen ........................................................................................................... 72
Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem .............................................................. 73
Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen ............................................................................................. 73
Ventile auf Dichtigkeit überprüfen ............................................................................................................. 73
Membrane der Vakuumpumpe wechseln .................................................................................................. 74
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Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer .............................................................. 75
Führungsschiene des Greifers reinigen ................................................................................................... 75
Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch.................................................................... 76
Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen .............................................................................................. 76
O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen ........................................................................ 76
Optische Sensoren reinigen ....................................................................................................................... 77
X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen .......................................................................................... 78
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Sicherheitshinweise
Lage von Schaltern und Tastern am SWS
(1)
Betriebsanzeige [2] NOT-HALT-Taster
[3] Hauptschalter
Halten Sie bei allen Instandhaltungsarbeiten die geltenden Sicherheits- und Unfallverhü-
tungsvorschriften Ihres Landes ein.
Beachten Sie die Sicherheitshinweise der entsprechenden Betriebsanleitung.
Beachten Sie darüber hinaus die speziellen Sicherheitshinweise in diesem Kapitel.