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7 Sicherh eitsh inw eise Lage von Sc haltern und Tastern am SWS (1) Betriebsanz eige [2] NOT - HALT - Taster [3] Haupts chalter Halten Sie bei all en Inst andhalt ungsar beiten di e gelten den S icherheits - und U nfal…
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Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer .............................................................. 75
Führungsschiene des Greifers reinigen ................................................................................................... 75
Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch.................................................................... 76
Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen .............................................................................................. 76
O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen ........................................................................ 76
Optische Sensoren reinigen ....................................................................................................................... 77
X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen .......................................................................................... 78
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Sicherheitshinweise
Lage von Schaltern und Tastern am SWS
(1)
Betriebsanzeige [2] NOT-HALT-Taster
[3] Hauptschalter
Halten Sie bei allen Instandhaltungsarbeiten die geltenden Sicherheits- und Unfallverhü-
tungsvorschriften Ihres Landes ein.
Beachten Sie die Sicherheitshinweise der entsprechenden Betriebsanleitung.
Beachten Sie darüber hinaus die speziellen Sicherheitshinweise in diesem Kapitel.
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Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen
Diese Anleitung enthält Hinweise, die Sie zu Ihrer persönlichen Sicherheit sowie zur Vermeidung
von Sachschäden beachten müssen. Die Hinweise sind durch Warndreiecke hervorgehoben und
je nach Gefährdungsgrad folgendermaßen dargestellt:
GEFAHR
im Sinne dieser Anleitung bedeutet, dass Tod, schwere Körperverletzung oder erheblicher
Sachschaden eintreten werden, wenn die Gefahrenhinweise nicht beachtet werden.
WARNUNG
im Sinne dieser Anleitung bedeutet, dass Tod, schwere Körperverletzung oder erheblicher
Sachschaden eintreten können, wenn die Warnhinweise nicht beachtet werden.
VORSICHT
im Sinne dieser Anleitung bedeutet, dass eine leichte Körperverletzung oder ein Sachschaden
eintreten kann, wenn die Vorsichtshinweise nicht beachtet werden.
HINWEIS
im Sinne dieser Anleitung ist eine wichtige Information über das Produkt oder den jeweiligen Teil
der Anleitung, auf die besonders aufmerksam gemacht werden soll.
Generelle Sicherheitshinweise bei Instandhaltungsarbeiten
GEFAHR
Bei Nichtbeachtung der Sicherheitshinweise besteht Gefahr für Mensch und Maschine!
Beachten Sie bei allen Arbeiten die Sicherheitshinweise in der Betriebsanleitung der jeweiligen
Maschine.