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74 Membrane de r Vakuumpumpe we chseln  Um die Vakuump umpe z ugänglich zu mac hen, müs sen Sie de n Magaz in - Lift öffnen ( sie he "Magazi n - Lift auf schwenke n" auf Seite 14) und die Versor gungseinh eit …

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Instandhaltungsarbeiten am Vakuumsystem
Vakuumleistung und Saugkraft überprüfen
Intervall: 4-monatlich
Arbeitsmittel:
SWS GUI, Vakuum
VORSICHT
Für diese Überprüfung ist das Bediener-Level Service in der SWS GUI erforderlich. Sie darf nur
von entsprechend geschultem Personal vorgenommen werden.
Das SWS muss eingeschaltet sein und die entsprechende Schutzhaube geöffnet werden. Die
Stromversorgung der Portalachsen und der SWS-Achsen wird sofort unterbrochen. Die Por-
talachsen und alle Achsen des SWS bleiben stehen. Am Bildschirm wird eine entsprechende Mel-
dung ausgegeben. Übergehen Sie diese Meldung.
Wechseln Sie in die Ansicht Service -> USB outputs und schalten Sie alle Vakuum-Ver-
braucher aus.
Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Service -> USB IOs -> Registerkarte USB Pro-
grams.
Schalten Sie mit dem Button Main Vacuum Pump on das Vakuum ein und lesen Sie den
Wert unter Main Vacuum [mbar] ab. Der Wert sollte ca. 700 mbar betragen, wenn alle Va-
kuum-Verbraucher ausgeschaltet sind.
Achten Sie auf Blasgeräusche innerhalb der Maschine.
Suchen Sie bei einem etwaigen Vakuumverlust die potentiellen Schwachstellen ab:
Vakuumdichtigkeit am Ausstechsystem testen (auf Seite 37)
Flip-Unit: Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen (auf Seite 51)
Die-Attach-Unit: Pipettenbefestigung auf Dichtigkeit prüfen (auf Seite 43)
Ventile auf Dichtigkeit überprüfen
Intervall: 1-jährlich
Arbeitsmittel:
Vakuum
Überprüfen Sie die Dichtigkeit der pneumatischen Ventile entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
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Membrane der Vakuumpumpe wechseln
Um die Vakuumpumpe zugänglich zu machen, müssen Sie den Magazin-Lift öffnen (siehe
"Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14) und die Versorgungseinheit herausziehen (siehe
"Versorgungseinheit herausziehen" auf Seite 15).
Intervall: 1-jährlich
Arbeitsmittel:
Dämpfer und Membrane aus Servicebox
Legende
[1] Dämpfer
[2] Membrane
Wechseln Sie Membrane der Vakuum-
pumpe entsprechend den Herstelleranwei-
sungen.
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Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer
Führungsschiene des Greifers reinigen
HINWEIS
Die Führungsschiene des Greifers ist auf Lebzeit geschmiert und muss daher nur gereinigt
werden.
Intervall: 1-monatlich
Arbeitsmittel:
SIPLACE-Reinigungstuch
Legende
[1] Greiferschiene
[2] Läufer
Wischen Sie die Greiferschiene mit einem
SIPLACE-Reinigungstuch ab.