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75 Instandhalt ungsarbe iten am Wafer - C hange r Führungsschie ne des Greifers reinigen HINWEIS Die Führun gssc hiene des Greifers ist auf L ebzeit g eschmiert und muss daher n ur ger einigt werden. Intervall : 1- monat…

Membrane der Vakuumpumpe wechseln

 Um die Vakuumpumpe zugänglich zu machen, müssen Sie den Magazin-Lift öffnen (siehe

"Magazin-Lift aufschwenken" auf Seite 14) und die Versorgungseinheit herausziehen (siehe

"Versorgungseinheit herausziehen" auf Seite 15).

Intervall: 1-jährlich

Arbeitsmittel:

Dämpfer und Membrane aus Servicebox

Legende

[1] Dämpfer

[2] Membrane

 Wechseln Sie Membrane der Vakuum-

pumpe entsprechend den Herstelleranwei-

sungen.

Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Changer

Führungsschiene des Greifers reinigen

HINWEIS

Die Führungsschiene des Greifers ist auf Lebzeit geschmiert und muss daher nur gereinigt

werden.

Intervall: 1-monatlich

Arbeitsmittel:

SIPLACE-Reinigungstuch

Legende

[1] Greiferschiene

[2] Läufer

 Wischen Sie die Greiferschiene mit einem

SIPLACE-Reinigungstuch ab.

Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch

Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen

Intervall: wöchentlich

Arbeitsmittel:

Äthylalkohol, fusselfreies Tuch

Legende

[1] Wafer-Auflagenleiste

 Reinigen Sie die Auflageleisten für die Wa-

fer-Rahmen mit einem mit Äthylalkohol be-

feuchteten fusselfreien Tuch.

 Achten Sie auf Schürfstellen und Abrieb.

O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen

Die O-Ringe unterhalb der Wafer-Arretierungsleiste sollten bei Bedarf, z. B. bei gehäufter Produk-

tumstellung, auf Undichtigkeit geprüft werden.

Intervall: bei Bedarf

Arbeitsmittel:

ggf. neue O-Ringe und UNISILIKON L250

Legende

[1] Befestigungsmutter der Wafer-Arretierungsleiste

[2] O-Ring