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77 Lösen Sie die Befes tigu ngsmutter [1] der Wafer - Arretieru ngsleiste und he ben Sie die Wa - fer - Arretier ungsl eiste ab . Nehmen Sie die b eiden O - Ringe heraus un d prüf en Sie d iese auf Beschäd igung od e…
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Instandhaltungsarbeiten am Wafer-Tisch
Auflageleisten für Wafer-Rahmen reinigen
Intervall: wöchentlich
Arbeitsmittel:
Äthylalkohol, fusselfreies Tuch
Legende
[1] Wafer-Auflagenleiste
Reinigen Sie die Auflageleisten für die Wa-
fer-Rahmen mit einem mit Äthylalkohol be-
feuchteten fusselfreien Tuch.
Achten Sie auf Schürfstellen und Abrieb.
O-Ringe an der Wafer-Aufnahme auf Dichtigkeit prüfen
Die O-Ringe unterhalb der Wafer-Arretierungsleiste sollten bei Bedarf, z. B. bei gehäufter Produk-
tumstellung, auf Undichtigkeit geprüft werden.
Intervall: bei Bedarf
Arbeitsmittel:
ggf. neue O-Ringe und UNISILIKON L250
Legende
[1] Befestigungsmutter der Wafer-Arretierungsleiste
[2] O-Ring
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Lösen Sie die Befestigungsmutter [1] der Wafer-Arretierungsleiste und heben Sie die Wa-
fer-Arretierungsleiste ab.
Nehmen Sie die beiden O-Ringe heraus und prüfen Sie diese auf Beschädigung oder Ver-
schleiß.
Bei Bedarf müssen die O-Ringe getauscht und nach dem Einsetzen mit UNISILIKON L250
gefettet werden (siehe Serviceanleitung).
Setzen Sie die O-Ringe wieder ein.
Setzen Sie die Wafer-Arretierungsleiste wieder auf und schrauben Sie diese fest.
Optische Sensoren reinigen
VORSICHT
Verwenden Sie auf keinen Fall ein Lösungsmittel zum Reinigen der Sensoren, um eine Beschä-
digung der Kunststoffoberfläche zu vermeiden.
Intervall: monatlich
Arbeitsmittel:
optisches Tuch
Legende
[1] Optischer Sensor
Reinigen Sie die Sensoren mit einem optischen Tuch.
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X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen
HINWEIS
Die X- und Y-Linearführungen sowie die X- und Y-Spindeln am Wafer-Tisch sind auf Lebzeit
geschmiert und müssen daher nur gereinigt werden.
Intervall: 1-monatlich
Arbeitsmittel:
SIPLACE-Reinigungstuch
X-Linearführung und X-Spindel Y-Linearführung und Y-Spindel
Legende
[1] Spindel am Wafer-Tisch
[2] Linearführung am Wafer-Tisch
Wischen Sie die Linearführungen und die Spindeln am Wafer-Tisch über ihre komplette Län-
ge mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab