00195962-03_MM SWS-DE - 第78页
78 X- /Y - Linearführungen und Spindeln reinigen HINWEIS Die X - un d Y - Linear führun gen sow ie die X - und Y - Spin deln am W afer - Tis ch sind a uf Lebz eit geschmier t und m üssen d aher nur gereini gt werden . In…
77
Lösen Sie die Befestigungsmutter [1] der Wafer-Arretierungsleiste und heben Sie die Wa-
fer-Arretierungsleiste ab.
Nehmen Sie die beiden O-Ringe heraus und prüfen Sie diese auf Beschädigung oder Ver-
schleiß.
Bei Bedarf müssen die O-Ringe getauscht und nach dem Einsetzen mit UNISILIKON L250
gefettet werden (siehe Serviceanleitung).
Setzen Sie die O-Ringe wieder ein.
Setzen Sie die Wafer-Arretierungsleiste wieder auf und schrauben Sie diese fest.
Optische Sensoren reinigen
VORSICHT
Verwenden Sie auf keinen Fall ein Lösungsmittel zum Reinigen der Sensoren, um eine Beschä-
digung der Kunststoffoberfläche zu vermeiden.
Intervall: monatlich
Arbeitsmittel:
optisches Tuch
Legende
[1] Optischer Sensor
Reinigen Sie die Sensoren mit einem optischen Tuch.
78
X-/Y- Linearführungen und Spindeln reinigen
HINWEIS
Die X- und Y-Linearführungen sowie die X- und Y-Spindeln am Wafer-Tisch sind auf Lebzeit
geschmiert und müssen daher nur gereinigt werden.
Intervall: 1-monatlich
Arbeitsmittel:
SIPLACE-Reinigungstuch
X-Linearführung und X-Spindel Y-Linearführung und Y-Spindel
Legende
[1] Spindel am Wafer-Tisch
[2] Linearführung am Wafer-Tisch
Wischen Sie die Linearführungen und die Spindeln am Wafer-Tisch über ihre komplette Län-
ge mit einem SIPLACE-Reinigungstuch ab
