Fuji errorcode - 第1713页

<cause> 指令参数不正确。 ( 补充编码 )</caus e> <remedy >(1) 请重新接通电源。 (2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安装软件。 (3) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。 </remedy> <img /> </code> <code id=…

<remedy>1.请确认文件是否存在。

2.以上措施不能解决问题时请获取追溯数据并发送到本公司的相关部门。</remedy>

<img />

</code>

<disp>指令编码错误</disp>

<cause>指令编码不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>指令大小错误</disp>

<cause>指令大小不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>指令参数错误</disp>

<cause>指令参数不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 系统内发生了处理异常。

（补充编码） </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请关闭后重新打开总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>真空压力异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 真空压力异常。

( 没有补充的编码 )</cause>

<remedy>请确认真空泵是否动作。

真空泵正常动作时发生了空气泄漏，有必要修理空气泄漏的地方。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>变换器/变压器异常</disp>

<cause>发生了变换器/变压器异常。(补充编码无)

NXTR：发生了变换器/变压器异常。(补充编码 1:ATX009(元件变压器 1 正常)

2:ATX01B(元件变压器 2 正常) )</cause>

<remedy>为了重启变换器/变压器，请重新启动机器。

再启动也不能解除异常时，请更换变换器/变压器。

NXT-H：・可能是真空泵控制箱的故障，控制箱的 LED 没有亮灯时请重新启动机器。

即使重启 LED 也不亮灯时，请参考「机械手册」的「真空泵控制箱的更换」的项目更换真

空泵控制箱。

・LED 亮灯时，请确认真空泵控制箱的 LED 监视器上显示的警报代码，并联系本公司的代

理店或售后服务人员。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>温度保险丝异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 温度保险丝异常

( 没有补充的编码 )</cause>

<remedy>真空泵处于高温时请冷却。

请切断机器的主电源开关，在短暂放置以后重新启动。

异常不能消除时可以考虑是温度保险丝的异常。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>真空泵状态异常</disp>