Fuji errorcode - 第1714页

<cause> 发生了变换器 / 变压器异常。 ( 补充编码无 ) NXTR ：发生了变换器 / 变压器异常。 ( 补充编码 1:A TX009( 元件变压器 1 正常 ) 2:ATX01B( 元件变压器 2 正常 ) )</cause> <remedy > 为了重启变换器 / 变压器，请重新启动机器。再启动也不能解除异常时，请更换变换器 / 变压器。 NXT-H ：・可能是…

<cause>指令参数不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。(2) 如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请重新安

装软件。(3)如果执行上述步骤后还是无法消除异常，则请收集出错时的跟踪数据并联系售

后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 系统内发生了处理异常。

（补充编码） </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请关闭后重新打开总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>真空压力异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 真空压力异常。

( 没有补充的编码 )</cause>

<remedy>请确认真空泵是否动作。

真空泵正常动作时发生了空气泄漏，有必要修理空气泄漏的地方。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>变换器/变压器异常</disp>

<cause>发生了变换器/变压器异常。(补充编码无)

NXTR：发生了变换器/变压器异常。(补充编码 1:ATX009(元件变压器 1 正常)

2:ATX01B(元件变压器 2 正常) )</cause>

<remedy>为了重启变换器/变压器，请重新启动机器。

再启动也不能解除异常时，请更换变换器/变压器。

NXT-H：・可能是真空泵控制箱的故障，控制箱的 LED 没有亮灯时请重新启动机器。

即使重启 LED 也不亮灯时，请参考「机械手册」的「真空泵控制箱的更换」的项目更换真

空泵控制箱。

・LED 亮灯时，请确认真空泵控制箱的 LED 监视器上显示的警报代码，并联系本公司的代

理店或售后服务人员。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>温度保险丝异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 温度保险丝异常

( 没有补充的编码 )</cause>

<remedy>真空泵处于高温时请冷却。

请切断机器的主电源开关，在短暂放置以后重新启动。

异常不能消除时可以考虑是温度保险丝的异常。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>真空泵状态异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 进行基座状态检查以后，在真空泵的反相器异常、温度保险丝异

常、真空压力异常中有某个发生异常。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)请解除真空泵的异常</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<cause>[ 真空泵单元 ] 真空泵的反相器异常、温度保险丝异常、真空压力异常中的某一

个发生异常而使启动失败。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)请解除发生的异常后发出启动指示。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>电路板真空压异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 电路板真空压力异常

( 补充编码 )</cause>

<remedy>请确认电路板真空泵是否动作。

电路板真空泵正常动作时，因为发生了空气泄漏，所以有必要进行空气泄漏地方的修理。

</remedy>

<img />

</code>

<cause>[ 真空泵单元 ] 发生了 IO 电路板的异常或 IO 电缆的破损