Fuji errorcode - 第1715页

<cause>[ 真空泵单元 ] 进行基座状态检查以后，在真空泵的反相器异常、温度保险丝异常、真空压力异常中有某个发生异常。 ( 补充编码 )</ cause> <remedy >(1) 请解除真空泵的异常 </remedy > <img>N XT\ EN \Hw_Vacu umPump.gif</i mg> </code> <c…

<cause>发生了变换器/变压器异常。(补充编码无)

NXTR：发生了变换器/变压器异常。(补充编码 1:ATX009(元件变压器 1 正常)

2:ATX01B(元件变压器 2 正常) )</cause>

<remedy>为了重启变换器/变压器，请重新启动机器。

再启动也不能解除异常时，请更换变换器/变压器。

NXT-H：・可能是真空泵控制箱的故障，控制箱的 LED 没有亮灯时请重新启动机器。

即使重启 LED 也不亮灯时，请参考「机械手册」的「真空泵控制箱的更换」的项目更换真

空泵控制箱。

・LED 亮灯时，请确认真空泵控制箱的 LED 监视器上显示的警报代码，并联系本公司的代

理店或售后服务人员。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>温度保险丝异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 温度保险丝异常

( 没有补充的编码 )</cause>

<remedy>真空泵处于高温时请冷却。

请切断机器的主电源开关，在短暂放置以后重新启动。

异常不能消除时可以考虑是温度保险丝的异常。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>真空泵状态异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 进行基座状态检查以后，在真空泵的反相器异常、温度保险丝异

常、真空压力异常中有某个发生异常。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)请解除真空泵的异常</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<cause>[ 真空泵单元 ] 真空泵的反相器异常、温度保险丝异常、真空压力异常中的某一

个发生异常而使启动失败。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)请解除发生的异常后发出启动指示。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>电路板真空压异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 电路板真空压力异常

( 补充编码 )</cause>

<remedy>请确认电路板真空泵是否动作。

电路板真空泵正常动作时，因为发生了空气泄漏，所以有必要进行空气泄漏地方的修理。

</remedy>

<img />

</code>

<cause>[ 真空泵单元 ] 发生了 IO 电路板的异常或 IO 电缆的破损

( 补充编码 IO SHELL 的错误编码 )</cause>

<remedy>请切断机器的主电源并重新启动。

异常不能解除时，可以考虑切断电线等。</remedy>

<img>NXT\EN\Hw_VacuumPump.gif</img>

</code>

<disp>电路板真空泵变换器异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 发生了电路板真空泵的变换器异常。

（补充编码） </cause>

<remedy>为了重新启动变换器，请重新启动机器。

重新启动也无法解决时，请更换变换器。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>电路板真空泵温度保险丝异常</disp>

<cause>[ 真空泵单元 ] 电路板真空泵的温度保险丝异常

( 补充编码 )</cause>

<remedy>电路板真空泵处于高温时请冷却。请切断机器的主电源开关，作短暂放置后，

重新启动。不能解除异常时，可考虑是温度保险丝的异常。</remedy>

<img />

</code>

<disp>电路板真空泵状态异常</disp>