Fuji errorcode - 第2126页
・ Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap" 时 - Ref.Die Pos Info by Waf erMap - Mar kName 请设定为 30 文字以内。 设定变更后请重新传送 Jo b 。 进行以上对策后还是发 生异常时, 请确认 Flexa 的版本和机 器软件版本的 组合。 组合不正确时,请联系 本公司的售 后服务人员。 </remedy> <img /> &…
进行定位点影像摄影时光源的光源类型(MarkData-Ref.DieMark-(Ref.DieMarkName)-
Generic-LightingPattern for Ref.DieMark)变更为可以指定的组合。
可以指定的组合
・Lighting Color: "Red" + Lighting Pattern: "M/C default"
・Lighting Color: "Red" + Lighting Pattern: "Incident"
・Lighting Color: "Red" + Lighting Pattern: "Sidelight"
・Lighting Color: "Red" + Lighting Pattern: "Incident Sidelight"
・Lighting Color: "Blue" + Lighting Pattern: "Sidelight" </remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBC">
<disp>超出外形数据范围异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:参考位置指定方法异常 ( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i:ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref. 请将 Die Pos Type
指定为"Matrix"或者"WaferMap"或者"Coordinate"。变更设定后请重新传送 JOB。即使进行
上述对策还发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器的软件版本是否匹配。如果匹配是正
确的时候,对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据,与敝公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBD">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 名文字列异常( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- Ref.Die Pos Info by Matrix - MarkName 请设定为 30 文字以内。
・ Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- Ref.Die Pos Info by WaferMap - MarkName 请设定为 30 文字以内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBE">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference 名称文字列异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by
WaferMap - RefName 设定为 16 文字以内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBF">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>检测出相同的 Reference 名
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请变更 RefName,使其不重复。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap - RefName
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC0">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 行列数指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Col 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Row 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC1">