Fuji errorcode - 第2127页
( 补充编码 )</ cause> <remedy > 请变更 RefNa me ,使其不重复。 ・ ShapeData-Shape Process-Die-Ref.Die- MWU12i - Re f.Die Pos Info by WaferMap - RefName 设定变更后请重新传送 Jo b 。 进行以上对策后还是发 生异常时, 请确认 Flexa 的版本和机 器软件版本的 组合。 组合不正确时,请联…
・ Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- Ref.Die Pos Info by WaferMap - MarkName 请设定为 30 文字以内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBE">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference 名称文字列异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by
WaferMap - RefName 设定为 16 文字以内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BBF">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>检测出相同的 Reference 名
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请变更 RefName,使其不重复。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap - RefName
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC0">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 行列数指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Col 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Row 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC1">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 同一行列位置指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请对每个 Reference 指定不同的行列。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Col
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Row
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC2">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 修正量指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・ Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
・Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。