Fuji errorcode - 第2128页
<disp> 外形 数据整合性 异常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>Refe rence mark 同一行列位置指定异常 ( 补充编码 )</ cause> <remedy > 请对每个 Reference 指定不同的行列。 ・ ShapeData-Shape Process-Die-Ref.Die- MWU12i -…
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请变更 RefName,使其不重复。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Ref.Die Pos Info by WaferMap - RefName
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC0">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 行列数指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Col 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Row 在 0 ~ 800 的范围内进行指定。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC1">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 同一行列位置指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请对每个 Reference 指定不同的行列。
・ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Col
- Ref.Die Pos Info by Matrix - Row
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008BC2">
<disp>外形数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 修正量指定异常
( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・ Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
・Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
- 请对 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 在 -18.0 ~ 18.0 的范围内进行指定。
修正后、请重新传送 Job
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
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<code id="80008BC3">
<disp>外形数据整合性异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>Reference mark 设定在了 Reference 晶片外。( 补充编码 )</cause>
<remedy>ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i
・Ref. Die Pos Type 为 "Matrix"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2 以内的范围内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by Matrix - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2 以内的范围内。
・Ref. Die Pos Type 为 "WaferMap"时
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset X 指定在 Body-Lengh(X)的±1/2 以内的范围
内。
- 请将 Ref.Die Pos Info by WaferMap - Offset Y 指定在 Body-Width(Y)的±1/2 以内的范围
内。
设定变更后请重新传送 Job。
进行以上对策后还是发生异常时,请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。
组合不正确时,请联系本公司的售后服务人员。</remedy>
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