Fuji errorcode - 第2135页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：在 Local Reference Die 上设定了相同数据。可能是设定错误。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：在 Local Reference Die 上，以下项目中都设定了相同数据。虽然这样也可以进行生产，但是存在设定错误的可能性，请确认设定。 Sh…

通过时不使用 Reference 功能时，请将通过时 Reference 参照功能为 OFF。

・ ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Passage Ref. Die Mode：OFF

</remedy>

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</code>

<disp>外形数据整合性警告</disp>

<cause>影像处理类型为 ”Custom”时，通过时 Reference 参照功能不动作。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>通过时使用 Reference 参照功能时，请将・ ShapeData-ShapeProcess -

TopViewRecognition - SubVisionSystem - VisionProcessPattern 设定为”PP First”或者 ”All Die”或

者 ”Auto”。</remedy>

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<disp>表面基准吸取有无数据整合性异常</disp>

<cause>MWU12i：识别表面所用的数据设定不足。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请确认 MWU12i：Shape Data - Shape Process - Top View Recognition - Pick Up

Using TVR 的设定。使用的主系统的版本不同则可选选项不同，因此请配合可选选项进行

以下设定。・可选选项「All parts」或「First part only」为「No」时，使用供料器元件时请

设定为「No」。使用料盘元件时请将「All parts」设定为「No」。使用晶圆元件时请设定

为「All parts」。・可选择的值为「Yes」或「No」时，供料器元件时请设定为「No」。料

盘元件时请设定为「Yes」或「No」。使用晶圆元件时请设定为「Yes」。</remedy>

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<disp>在 Local Reference Die 上设定了相同数据（警告）</disp>

<cause>MWU12i：在 Local Reference Die 上设定了相同数据。可能是设定错误。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 Local Reference Die 上，以下项目中都设定了相同数据。

虽然这样也可以进行生产，但是存在设定错误的可能性，请确认设定。

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-MarkName

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-Offset X

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-Offset Y</remedy>

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<disp>参照裸芯片的设定不足</disp>

<cause>MWU12i：参照裸芯片的设定、ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-

Ref.DiePosInfoByWaferMap 的设定数据数为 1 个。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将参照裸芯片设定为２～４个。设定了２～４个时还发生错误

时，可能其他项目的设定不正确。 </remedy>

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<disp>元件旋转方向偏移量检测范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

SupplyAngleCheck 的设置值超出有效范围。

有效范围：0～1。0：No 1：Yes( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：该错误发生概率非常低。发生上述错误时，请收集出错时的跟踪数

据并联系本公司售后服务人员。</remedy>

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<disp>元件旋转方向偏移量的公差范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

SupplyAngleTolerance 的设置值超过 0.000～5.000[deg]。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将 SupplyAngleTolerance 设置为 5.000[deg]以内。</remedy>

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<disp>公差值超量时的处理范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

ActionForSupplyAngleError 的设置值超出有效范围。

有效范围：0～1。0：Vision NG 1：Skip( 补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：Q Correct Pick 尚未应用,目前无法选择。</remedy>

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<disp>元件旋转方向偏移量检测条件不一致</disp>

<cause>MWU12i：虽然利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量检测功能设置为有效，

但是现在的供料方法还不能应用该检测功能。

只有在晶圆的单独翻转供应时才能使用该功能。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将 ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-

SubVisionSystem-SupplyAngleCheck 设置为 No。</remedy>

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