Fuji errorcode - 第2136页

</code> <code id="8 0008BD1"> <disp> 元件旋转方向偏移量的公差范围异常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ： Shap eData-ShapePr ocess-TopViewRecogniti on-Vision-Sub VisionSyste …

<cause>MWU12i：在 Local Reference Die 上设定了相同数据。可能是设定错误。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 Local Reference Die 上，以下项目中都设定了相同数据。

虽然这样也可以进行生产，但是存在设定错误的可能性，请确认设定。

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-MarkName

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-Offset X

ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i-Local Ref. Die Info-Offset Y</remedy>

<img />

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<disp>参照裸芯片的设定不足</disp>

<cause>MWU12i：参照裸芯片的设定、ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-

Ref.DiePosInfoByWaferMap 的设定数据数为 1 个。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将参照裸芯片设定为２～４个。设定了２～４个时还发生错误

时，可能其他项目的设定不正确。 </remedy>

<img />

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<disp>元件旋转方向偏移量检测范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

SupplyAngleCheck 的设置值超出有效范围。

有效范围：0～1。0：No 1：Yes( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：该错误发生概率非常低。发生上述错误时，请收集出错时的跟踪数

据并联系本公司售后服务人员。</remedy>

<img />

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<disp>元件旋转方向偏移量的公差范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

SupplyAngleTolerance 的设置值超过 0.000～5.000[deg]。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将 SupplyAngleTolerance 设置为 5.000[deg]以内。</remedy>

<img />

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<disp>公差值超量时的处理范围异常</disp>

<cause>MWU12i：ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-SubVisionSystem-

ActionForSupplyAngleError 的设置值超出有效范围。

有效范围：0～1。0：Vision NG 1：Skip( 补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：Q Correct Pick 尚未应用,目前无法选择。</remedy>

<img />

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<disp>元件旋转方向偏移量检测条件不一致</disp>

<cause>MWU12i：虽然利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量检测功能设置为有效，

但是现在的供料方法还不能应用该检测功能。

只有在晶圆的单独翻转供应时才能使用该功能。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将 ShapeData-ShapeProcess-TopViewRecognition-Vision-

SubVisionSystem-SupplyAngleCheck 设置为 No。</remedy>

<img />

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<disp>封装数据范围外异常</disp>

<cause>MWU12i：PackageData-PackageInformation-WefarSheetThickness 的数据值在

0.000〜1.000 的范围外。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将晶圆片的厚度设定在指定范围内后，重新传送 Job。</remedy>

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<disp>封装数据范围外异常</disp>

<cause>MWU12i：PackageData-PackageInformation-GripRingInsideDiameter 的数据值在

「 0.000 或者 6.350〜350.000 」的范围外。

※输入了｢0.000｣或者「比夹环大的数值」时，使用以英寸值表示的默认值内径。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请在指定值范围内设定夹环内径后，重新传送 Job。

不同晶圆尺寸的夹环大小如下。

12inch:335.0mm

8inch:225.0mm

6inch:169.9mm

5inch:169.9mm

4inch:137.0mm

3inch:115.0mm</remedy>

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<disp>晶圆方向的指定值异常</disp>