Fuji errorcode - 第2150页

<disp> 中央 Pin 下降速度设置异常 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：设置为中央 Pin 下降速度比外围 Pin 下降速度快。 ( 补充编码 )</cause > <remedy >MWU12i ：请用 Job 编制器打开对象 Job ，变更以下的设置并再次传送。请将 [Shape …

[Die]-[2nd stage parameters]-[Outside pin height]と[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-

[Center pin height]的差变更到 1.0mm 以内的高度。</remedy>

<img />

</code>

<disp>外周 Pin 上升速度设置异常</disp>

<cause>MWU12i：外周 Pin 上升速度比中央 Pin 快。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请用 Job 编制器打开对象 Job，变更以下的设置并再次传送。请将

[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Outside pin parameters]-[1st.lift speed]设置为与

[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Center pin parameters]-[1st.lift speed]相同的速度或

更慢的速度。另外，请将[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Outside pin parameters]-

[1st. lift speed]设置为与[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Center pin parameters]-

[1st. lift speed]相同的速度或更慢的速度。</remedy>

<img />

</code>

<disp>外周 Pin 先动作移动量设置值异常</disp>

<cause>MWU12i：外周 Pin 上升时外周 Pin 先动作移动量的上限值为(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请用 Job 编制器打开指定 Job，变更以下任何设置后再重新传送

Job。（1）在[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Operation order]为 [Outside pins first]

时，请将[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Operation order]变更为

[None],[Synchronize],[Center pin first],[Center pin only],[Outside pins only]中的任意一项。另

外，[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Operation order]为[Outside pins first]时，请

将[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Operation order]设置为

[None],[Synchronize],[Center pin first],[Center pin only],[Outside pins only]中的任一一项。

（2）请将[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Next axis start distance]和[Shape Data]-

[Die]-[2nd stage parameters]-[Next axis start distance]变更为 1.0mm 以下。</remedy>

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</code>

<disp>中央 Pin 下降速度设置异常</disp>

<cause>MWU12i：设置为中央 Pin 下降速度比外围 Pin 下降速度快。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请用 Job 编制器打开对象 Job，变更以下的设置并再次传送。请将

[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Center pin parameters]-[1st. lift speed]设置为与

[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Outside pin parameters]-[1st. lift speed]相同或更慢

的速度。</remedy>

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</code>

<disp>中央 Pin 先动作移动量设置值异常</disp>

<cause>MWU12i：中央 Pin 下降时的中央 Pin 先移动量的上限值为 1.0mm。(补充编

码)</cause>

<remedy>MWU12i：请用 Job 编制器打开指定 Job，变更以下任何设置后再重新传送

Job。请将[Shape Data]-[Die]-[2nd stage parameters]-[Operation order]变更为

[None],[Synchronize],[Outside pins first],[Center pin only],[Outside pins only]中的任意一项。

（2）请将[Shape Data]-[Die]-[1st stage parameters]-[Next axis start distance]和[Shape Data]-

[Die]-[2nd stage parameters]-[Next axis start distance]变更为 1.0mm 以下。</remedy>

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</code>

<disp>无法空转运转的设置。</disp>

<cause>MWU12i：设置了无法空转运转的条件。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：设置了无法空转运转的条件。空转运转不能与以下功能并用。请勿

使用空转运转或修正 Job 以便不使用以下功能。・不进行空转运转时辅助软件-远程操作-

生产模式设置中选择"普通生产模式"的单选按钮。・进行空转运转时无法使用以下功能。

显示子码的详细内容。子码 1：无法进行多区(Multi Blocks)的生产。请将[Package Data]-

[Packaging Type]变更为"Multi Blocks"以外的选项。自编码 2：无法并用晶圆图表以及 RANK

生产。请将[Package Data]-[Use Wafer Map]变更为"No"。请将[Part Data]-[Use Wafer Rank]变

更为"No"。</remedy>

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</code>

<disp>由于无法以 4 点参考裸芯片补正，以 3 点进行补正。</disp>

<cause>MWU12i：参考裸芯片的配置为以下任意配置，无法以参考 4 点进行补正。改为

以 3 点进行补正。・No.1 与 No.2 的行号码(Y 坐标)相同・No.3 与 No.4 的行号码(Y 坐标)相

同・No.1 与 No.4 的列号码(X 坐标)相同・No.2 与 No.3 的列号码(X 坐标)相同( 补充编

码)</cause>

<remedy>MWU12i：请修改为能以参考 4 点补正进行补正的配置。[Part Data]-[Property]-

[Wafer Direction]中设置为"0deg"以外时以 [Wafer Direction]旋转后的坐标进行检查。

</remedy>

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</code>

<disp>为无法参考补正的配置</disp>

<cause>MWU12i：由于参考裸芯片的配置如下，所以无法参考补正。・3 点以上的参考

裸芯片以直线排列・参考裸芯片为 2 点时，行(Y 坐标)或列(X 坐标)相同( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请修正为可参考补正的配置。</remedy>

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</code>

<disp>Multi Block 设定异常</disp>

<cause>MWU12i：当前的设置是无法执行“Multi Block 生产”的设置(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：“Multi Block 生产”需用到晶圆图。请使用 Vendor 或 TemplateMap。

</remedy>

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