Fuji errorcode - 第2168页

左侧面门： 0x000 00002 正面门 + 左侧面门： 0x000000 03 下部门： 0x000 00004 正面门 + 下部门： 0 x00000005 左侧面门 + 下部门： 0x000000 06 正面门 + 左侧面门 + 下部门： 0x00 000007 右侧面门： 0x000 00008 正面门 + 右侧面门： 0x000000 09 左侧面门 + 右侧面门： 0x0000000A 正面门 + 左侧面…

<cause>由于搭载的工作头所拥有的飞行对中相机固有值(分辨率)不正确，因此无法注册

到飞行对中相机中。( 补充编码 )</cause>

<remedy>需要重新调整搭载的工作头。请更换工作头。对不起麻烦您与敝公司 Support

联系。</remedy>

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</code>

<disp>影像处理装置异常</disp>

<cause>NXT：影像处理装置发生了异常。（此影像处理装置异常是因为影像处理错误以

外的原因。）( 补充编码影像处理装置的错误编码 )</cause>

<remedy>NXT：请进行复位处理。复位处理也不能解决问题，请重启装置。 </remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ 晶圆供应单元 ] 系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆供应单元门敞开</disp>

<cause>背面(正面)门、左侧面门、右侧面门、下部门的任意一个敞开了。( 补充编码敞

开的门。

正面门：0x00000001

左侧面门：0x00000002

正面门+左侧面门：0x00000003

下部门：0x00000004

正面门+下部门：0x00000005

左侧面门+下部门：0x00000006

正面门+左侧面门+下部门：0x00000007

右侧面门：0x00000008

正面门+右侧面门：0x00000009

左侧面门+右侧面门：0x0000000A

正面门+左侧面门+右侧面门：0x0000000B

下部门+右侧面门：0x0000000C

正面门+下部门+右侧面门：0x0000000D

左侧面门+下部门+右侧面门：0x0000000E

正面门+左侧面门+下部门+右侧面门：0x0000000F )</cause>

<remedy>请关闭晶圆供应单元的门。</remedy>

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</code>

<disp>供料托架斜着放入检出</disp>

<cause>检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上托架被斜着插入。( 补充编码在子错误编码

中表示对象料槽的位置。 )</cause>

<remedy>１．请将斜着插入的托架正确地插入料槽。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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<disp>料盘箱料槽异物检出</disp>

<cause>检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上存在异物。( 补充编码在子错误编码中表示

对象料槽的位置。 )</cause>

<remedy>１．请除去异物。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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<disp>下层占有异常检出</disp>

<cause>在子错误编码中表示的料槽被别的料槽的料盘占有了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请减少别的料槽的料盘。

２．请重新编辑 Job，使得不发生占有异常。

３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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<disp>I/O 输入输出失败</disp>

<cause>晶圆供应单元的 I/O 操作失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单。</remedy>

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