Fuji errorcode - 第2169页

<disp> 料盘箱料槽异物检出 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause> 检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上存在异物。 ( 补充编码在子错误编码中表示对象料槽的位置。 )< /cause> <remedy > １．请除去异物。２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修…

左侧面门：0x00000002

正面门+左侧面门：0x00000003

下部门：0x00000004

正面门+下部门：0x00000005

左侧面门+下部门：0x00000006

正面门+左侧面门+下部门：0x00000007

右侧面门：0x00000008

正面门+右侧面门：0x00000009

左侧面门+右侧面门：0x0000000A

正面门+左侧面门+右侧面门：0x0000000B

下部门+右侧面门：0x0000000C

正面门+下部门+右侧面门：0x0000000D

左侧面门+下部门+右侧面门：0x0000000E

正面门+左侧面门+下部门+右侧面门：0x0000000F )</cause>

<remedy>请关闭晶圆供应单元的门。</remedy>

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</code>

<disp>供料托架斜着放入检出</disp>

<cause>检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上托架被斜着插入。( 补充编码在子错误编码

中表示对象料槽的位置。 )</cause>

<remedy>１．请将斜着插入的托架正确地插入料槽。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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</code>

<disp>料盘箱料槽异物检出</disp>

<cause>检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上存在异物。( 补充编码在子错误编码中表示

对象料槽的位置。 )</cause>

<remedy>１．请除去异物。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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</code>

<disp>下层占有异常检出</disp>

<cause>在子错误编码中表示的料槽被别的料槽的料盘占有了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请减少别的料槽的料盘。

２．请重新编辑 Job，使得不发生占有异常。

３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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</code>

<disp>I/O 输入输出失败</disp>

<cause>晶圆供应单元的 I/O 操作失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单。</remedy>

<img />

</code>

<disp>动作完成超时</disp>

<cause>晶圆供应单元的动作没有完成。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１.在晶圆供应单元中有可能发生了错误。如果存在晶圆供应单元发出的错误

编码，请确认内容。

２. 在晶圆供应单元中没有显示任何错误时，请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重

新安装。

３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>系统内发生了处理异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。

２．请关闭机器的总电源开关，然后重新启动。

３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司

Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱</disp>

<cause>在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱。( 补充编码 )</cause>

<remedy>由于灰尘或废弃元件等影响，废弃箱有可能没有被正确地设置，

请清扫后重新设置废弃箱。

不能恢复时，有可能传感器故障，请进行维修保养。</remedy>