Fuji errorcode - 第2173页
3.重新启动也没有解 决时,对不 起麻烦您获取 错误发生时 的跟踪数据, 与弊公司 Support 联系。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 0008F0F"> <disp> 晶圆 供料单元吸 取错误 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N…
</code>
<code id="80008F0C">
<disp>RFID 单元版本不一致</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ 晶圆供应单元 ] 1.请版本升级 RFID 单元的固件。
(当前的 RFID 单元的固件版本在 MWU 的手动指令的机器信息显示画面上能够确认。
在 NXT 的机器信息显示画面上不能确认,请注意。)
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>无</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F0D">
<disp>晶圆供应单元通信异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>与晶圆供应单元间的通信发生了异常。( 补充编码 )</cause>
<remedy>1.请使用手动指令卸下晶圆供应单元,然后重新安装。
2.请关闭机器的总电源开关,然后重新启动。
3.重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司
Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F0E">
<disp>晶圆供应单元通信数据不正确</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>与晶圆供应单元间的通信发生了异常。( 补充编码 )</cause>
<remedy>1.请使用手动指令卸下晶圆供应单元,然后重新安装。
2.请关闭机器的总电源开关,然后重新启动。
3.重新启动也没有解决时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据,与弊公司
Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F0F">
<disp>晶圆供料单元吸取错误</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H:晶圆供料单元的工作头上发生了吸取错误。( 补充编码 发生异常的晶圆
供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA:1
HolderB:2
HolderC:3
HolderD:4 )</cause>
<remedy>NXT-H:吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
1.不能使用特定的 Holder 进行吸取时,请清扫或者更换吸嘴。
2.不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时,请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F10">
<disp>晶圆供料单元翻转动作时元件落下</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H:晶圆供料单元的工作头在翻转动作中发生了元件落下。( 补充编码 发生
异常的晶圆供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA:1
HolderB:2
HolderC:3
HolderD:4 )</cause>
<remedy>NXT-H:吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
1.不能使用特定的 Holder 进行吸取时,请清扫或者更换吸嘴。
2.不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时,请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F11">
<disp>晶圆供料单元停止时元件落下</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H:晶圆供料单元的工作头在机器停止中发生了元件落下。( 补充编码 发生
异常的晶圆供料单元的 Holder 号码如下所示。
HolderA:1
HolderB:2
HolderC:3
HolderD:4 )</cause>
<remedy>NXT-H:吸嘴上可能发生了堵塞、灰尘黏附、前端变形等。
或者存在吸取姿势不安定的可能性。
【对策】
1.不能使用特定的 Holder 进行吸取时,请清扫或者更换吸嘴。
2.不能使用所有的吸嘴进行稳定吸取时,请调整突起高度等的设定。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008F12">
<disp>安装了未登录翻转生产工作头</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>