Fuji errorcode - 第2274页

</code> <code id="8 0009116"> <disp> 不能够 Dam 发布 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件 (2) ] 对于 TY 轴，不能够 Dam 发布。 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy >1 ．请重新按一下开…

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>数据变量未实现</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 在执行 TY 轴进行数据参照而动作的 Dam 系列的指令的时候，不

能够参照数据。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>来自 TY 轴伺服的错误响应</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 来自 TY 轴伺服的错误响应

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 对于 TY 轴，不能够 Dam 发布。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>增益切换失败</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] TY 轴的增益切换失败了

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>有可能干涉</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 对于 TY 轴，有可能发生干涉。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请重新按一下开始按钮。

2．通过 1 的方法不能解除异常时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>TY 轴伺服行程异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 检测出 TY 轴伺服行程范围外的移动目标。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1.请确认 Job 的外形数据的 Length,Width 等是否没有问题。

2.如果使用晶圆图表，请确认在晶圆图表的指定中没有错误。

3.如果不使用晶圆图表，请确认在晶圆示教的设定方法中没有错误。

·吸取基准位置的设定

·行列设定

4.如果在 JOB 中指定了参考晶片，则通过参考所求得的晶圆的倾斜、间距和中心的偏移量

有可能与实物不一致。请确认所指定的位置与实物的参考晶片的位置是否一致。

</remedy>

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