Fuji errorcode - 第2306页

如果 Job 中没有问题，请确认晶圆图表的指定中没有错误。 2. 请再次按下启动按钮。 3. 重新启动后，请进行参考的重新设定。 4. 通过 1 ， 2 ， 3 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。 </re medy> <img /> </code> <code id="8 0009171">…

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>筒夹干涉检查异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 在筒夹干涉检查时，检出了远远超出晶圆的范围的移动目标。

( 补充编码子错误编码表示料槽号码。 ) </cause>

<remedy>请执行以下的 1～4 的步骤。

1.请确认 Job 的外形数据的 Length,Width 等是否没有问题。

如果 Job 中没有问题，请确认晶圆图表的指定中没有错误。

2.请再次按下启动按钮。

3.重新启动后，请进行参考的重新设定。

4.通过 1，2，3 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝

公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(2) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>