Fuji errorcode - 第2375页

行 ( 列 ) 可能存在偏移。 ( 补充编码 )</ cause> <remedy >NXT ：请通过异常发生时补充画面进行以下处理。请确认晶圆的状态。・晶圆被固定在结合片中央。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行 Teaching 后，重新开始生产。 </remedy> …

</code>

<disp>不明顶起销检出</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 筒夹上有可能被安装了多余的顶起销。

( 补充编码子错误编码表示对象的筒夹号码。 ) </cause>

<remedy>１．请确认筒夹上是否被安装了多余的顶起销销。

２．请确认筒夹上面是否有损伤或污垢。</remedy>

<img />

</code>

<disp>通过时 Reference mark 参照异常</disp>

<cause>Reference mark 的识别失败了。行(列)可能发生偏移。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请通过异常发生时补充画面进行以下处理。处理①．请确认晶圆为可以参照

Reference mark 的状态。・晶圆被固定在结合片中央。・ Reference mark 上没有污垢和

缺损。没有问题时，请完成元件补充。请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确

认吸取开始晶片有无偏移。发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行 Teaching 后，重新开始

生产。处理①不能解决时请进行以下处理。处理②．请确认 Local Reference 的 Job 设定。

（ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die-MWU12i - Local Ref. Die Info）通过时使用 Reference

功能时，需要将晶圆上的所有 Reference mark 登录为 Local Reference。为了避免发生异

常，请将晶圆上的 Reference mark 全部登录为 Locak Reference。进行以上对策后还是发生

异常时，请确认 Flexa 的版本和机器软件版本的组合。组合不正确时，请获取发生错误时

的跟踪数据和从辅助软件取得的影像并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>生产晶片影像处理结果范围异常（检测出 1 个元件大小的偏移）</disp>

<cause>NXT：从复数生产晶片的影像处理结果中，检测到大于一个元件程度的偏移量。

行(列)可能存在偏移。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请通过异常发生时补充画面进行以下处理。

请确认晶圆的状态。

・晶圆被固定在结合片中央。

没有问题时，请完成元件补充。

请在完成元件补充后的吸取开始点指定画面上，确认吸取开始晶片有无偏移。

发生偏移时请对吸取开始晶片中央进行 Teaching 后，重新开始生产。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆元件的吸取没有达到一定时间</disp>

<cause>MWU12i：因为吸取的时間间隔中有停顿，为了防止 Dicing tape 伸展引起吸取偏

移停止了吸取。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请按下[COMP]键，重新指定吸取开始位置。此外，没有扩晶产生的

Dicing tape 伸展，或者元件尺寸较大时，通过将机器功能设定的[吸取偏移防止功能]－

[Dicing tape 伸展产生的吸取偏移防止功能]设定为"不使用"后，即使吸取的时間间隔中有

停顿，也可以继续进行生产。</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码读取器通信初始化异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 条形码读取器的初始化失败了

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。

(2) 通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司

Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码读取器通信异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 与条形码读取器的通信失败了

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请再次进行条形码读取。

2．通过 1 的方法不能解除时，请重新接通电源。

3．通过 1，2 的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公

司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>过滤器文件读入异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 用于抽出 DID 的过滤器文件读入失败了。